Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C #9144548 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850C ist ein automatisierter Wafer-Handler zur schnellen Bewegung und Manipulation von Wafern in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen. Die Roboterausrüstung führt eine präzise Wafer-Handhabung durch, um die Prozessleistung zu erhalten und hohe Geräteerträge zu generieren. Das System arbeitet von einem einzigen Arbeitsplatz aus und kann bis zu 4 Wafer-Roboter steuern. BROOKS 5850C ist mit einem zuverlässigen Design gebaut, das die Produktivität in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsumgebungen optimiert. Der Roboter bietet eine ultrapräzise Bewegungssteuerung mit wiederholbarer Genauigkeit in der Größenordnung von 0,001 mm in allen Achsen. Dies ermöglicht minimale Wafer-Modifikationen und ermöglicht eine zuverlässige Geräteleistung. Die Maschine ist mit einer sichtgeführten Inspektionsmaschine ausgestattet, die eine schnelle Wafersortierung mit vorprogrammierten Parametern ermöglicht. Der Roboter ist in der Lage, Radius und Durchmesser des Wafers automatisch zu messen und sogar eine automatische Inspektion an den Waferkanten durchzuführen. Die Schutzkammer ist mit Filtern und Vakuum/Stickstoff-Austauschfunktionen ausgestattet, so dass die Maschine die Wafer-Handhabung ohne Kontamination abschließen kann. Das Tool verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche mit einer Vielzahl von Funktionen, wie Rezept-Programmierung für integrierte Prozesssteuerung. Der Einsatz modernster Fertigungstechniken ermöglicht eine höhere Geschwindigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit. Darüber hinaus können Simulationen und Modellierungen zur Lösung von Prozessproblemen verwendet werden, während eine automatische Kalibrierung dafür sorgt, dass die Leistung des Roboters im Laufe der Zeit erhalten bleibt. Kurz gesagt, PRI AUTOMATION 5850C Wafer Handler ist ein intelligenter, effizienter Roboter, der eine Vielzahl von Waferbearbeitungsaufgaben in der Halbleiterherstellung schnell und präzise erledigt. Durch die Kombination fortschrittlicher Prozesssteuerungen mit einer zuverlässigen Bewegungssteuerung ist der Roboter in der Lage, zeitnah hohe Geräteerträge zu erzielen.