Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263576 zu verkaufen

BROOKS Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler ist eine Präzisionsautomatisierungsausrüstung, die entwickelt wurde, um Wafer in und um eine Halbleiterherstellungsumgebung sicher und präzise zu handhaben und zu bewegen. Der Handler ist so gebaut, dass er Wafer zuverlässig von einer Umschlagstation zur anderen transportiert und in Reinraum- oder Wafer-Fertigungsumgebungen sicher einsetzbar ist. Das Modell BROOKS 5850E besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Wafer Handling Subsystem, dem Robot Subsystem und dem Peripheral Subsystem. Das Wafer Handling Subsystem ist die Schnittstelle zwischen dem Wafer Robot und seinen zugehörigen Peripheriegeräten und für die Steuerung der Handhabung des Wafers während des gesamten Herstellungsprozesses verantwortlich. Es wurde entwickelt, um eine sichere und sichere Handhabung von Wafern mit einem federbelasteten Hemmmechanismus und sauberen Werkzeugen zum Aufnehmen und Ablegen von Wafern zu gewährleisten. Das Roboter-Subsystem des Model PRI AUTOMATION 5850E übernimmt die Aufgaben des Waferbewegens in seinem Transportsystem. Es besteht aus einem Hochgeschwindigkeits-Zwei-Achsen-Roboter mit einer Tragfähigkeit von zwölf 150mm (6 Zoll) Wafern und vier 200mm (8 Zoll) Wafern. Der Roboter ist mit einem Hochgeschwindigkeits-DC-Servomotor für präzise und konsistente Bewegung beladen und ist in der Lage, Geschwindigkeiten von 780 mm/s zu erreichen, während die Beschleunigung von 0 auf volle Geschwindigkeit in nur 0,3 Sekunden. Der Roboter hat eine Positionsgenauigkeit von + -0,04 mm. Das periphere Teilsystem des Modells 5850E umfasst alle für die Herstellung von Wafern erforderlichen Komponenten wie Wafer-Lader und Entlader, Servoantriebe, Wafer-Prober, Wafer-Transportschalen und verschiedene andere Vorrichtungen und Zubehör. Dieses Teilsystem soll sicherstellen, dass alle zugehörigen Peripheriegeräte reibungslos funktionieren und dass keine zusätzlichen Komponenten Kontaminations- oder Transportfehler verursachen können. Zusammenfassend ist PRI AUTOMATION Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler eine fortschrittliche Automatisierungseinheit, die entwickelt wurde, um Wafer in und um eine Halbleiterherstellungsanlage sicher und präzise zu handhaben und zu bewegen. Es ermöglicht eine präzise und konsistente Bewegung mit einer Positionsgenauigkeit von + -0,04 mm und hat die Fähigkeit, bis zu sechzehn Wafer mit Geschwindigkeiten von 780 mm/s zu transportieren. Die Maschine wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass alle zugehörigen Peripheriegeräte quellenfrei sind und ohne Verschmutzung oder Fehler arbeiten.