Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E ist ein vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Handler für Halbleiterproduktionsanlagen. Der vollautomatische Betrieb ermöglicht es, Wafer schnell und präzise durch den Handhabungsprozess zu bewegen. BROOKS 5850E wird von zwei unabhängigen, 256-stufigen Schritt-/Servomotor-Achsensystemen angetrieben. Jede Achsausrüstung ist in der Lage, die Wafer genau zu positionieren, mit einer Schrittauflösung von bis zu 1,3 Mikrometern. Der Handler kann mit bis zu drei Wafer-Tabletts ausgestattet werden, sodass er bis zu achtundvierzig 200mm oder sechsundsechzig 150mm Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. Es kann auch bis zu vier 500mm Wafer aufnehmen. PRI AUTOMATION 5850E wird auch standardmäßig mit zwei Lastschlössern mit jeweils einem eigenen mechanischen, pneumatischen und Vakuumsystem geliefert. Dadurch kann der Handler Wafer schnell und präzise in das Wafer-Tablett laden/entladen, Ausfallzeiten durch hochvolumiges Handling reduzieren und Partikelverunreinigungen reduzieren. 5850E ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einer programmierbaren Not-Aus-Einheit, einem optionalen Strahldetektor und einer Reihe von Sensoren. Diese Funktionen bieten einen zusätzlichen Schutz und garantieren, dass alle Operationen reibungslos und sicher laufen. Die Steuerungsmaschine von BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E besteht aus einem programmierbaren Logikcontroller (SPS), der es dem Benutzer ermöglicht, einfach wiederholbare, programmierbare Prozesse zu erstellen. Dies ermöglicht eine kundenspezifische Handhabung großer Wafermengen über kurze Zeiträume. Der Benutzer kann auch über die grafische Benutzeroberfläche (GUI) der Maschine auf parametrische Daten zugreifen und auf vordefinierte Rezepte zum Ausführen von Prozessen und Erstellen neuer Prozesse zugreifen. BROOKS 5850E ist ein effizienter, präziser und zuverlässiger Wafer-Handler für den Einsatz in Halbleiterproduktionsanlagen. Sein verstellbares Ablagewerkzeug, Lastschlösser, Sicherheitsfunktionen und seine intuitive Steuerung machen es zu einer idealen Wahl für die Handhabung mit hohem Volumen.