Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263590 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E ist ein vielseitiger Wafer-Handler für die zeitnahe und zuverlässige Verarbeitung von Wafer-Baugruppen. Dieses automatisierte Werkzeug ermöglicht die präzise Handhabung von bis zu 12 Wafern in einem einzigen Zyklus, einschließlich Be-, Über- und Entladen. BROOKS 5850E ermöglicht auch präzise Schleif-, Polier- und Entgratvorgänge mit bis zu 6 Spindeln zum Schleifen und Polieren. Das dedizierte, vierachsige Wafer-Manipulationssystem ermöglicht eine genaue Positionierung der Wafer und ermöglicht schnelle und genaue Übertragungen zwischen Schiffen. Die fortgeschrittenen Transportroboter sind mit Keramikbürsten und Saugnäpfen für präzises Wafer-Handling ausgestattet. Seine pneumatischen Greifer bieten eine effiziente Kraftregelung für automatisierte Be- und Entladevorgänge. PRI AUTOMATION 5850E verfügt über eine intuitive Softwareplattform, die es Kunden ermöglicht, automatisierte Rezepte zu konfigurieren, den Durchsatz und die Wiederholbarkeit der Prozesse zu maximieren und manuelle Operationen einzuleiten. Es unterstützt die Verwendung von Echtzeit-Rezeptmanagement (RRM) -Funktionen, einschließlich Rezeptrevision, Debug und Simulationen. Das System ist mit robusten Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet, um Bedienersicherheit und erstklassige Leistung zu gewährleisten. Zu den robusten Sicherheitsmerkmalen gehören eine Kammerverriegelung, eine Einzyklus-Rückwärtsverriegelung, Bremsfähigkeit sowie Geschwindigkeitsregel- und Grenzschalter für jedes Waferfach. 5850E ist ein beeindruckendes und umfassendes Wafer-Handler-System, das Kunden die Möglichkeit gibt, mit Wafern mit Genauigkeit und Konsistenz sicher umzugehen. Diese automatisierte Plattform ist ideal für Serienzyklen mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit für eine effiziente und zuverlässige Waferbearbeitung.