Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 #9141156 zu verkaufen

BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3
ID: 9141156
Mass flow controller.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 ist ein Wafer-Handler, der sowohl für blanke als auch für verpackte Gesenkprodukte entwickelt wurde. Es kann bis zu acht Wafer pro Zyklus verarbeiten und für eine Vielzahl von Wafergrößen konfiguriert werden. Der Handler ist mit einer Lüfterbaugruppe ausgestattet, die bis zu 16 geätzte Wafer in einzelne Komponenten trennen kann. Die Wafer werden automatisch in eine Einlaufschale geladen und dann mit einem Feinwinkelübergabeband in die Lüfterbaugruppe geschoben. Die Wafer sind weiter durch eine mehrstufige, motorisierte Sichtausrüstung getrennt. Die Ausgangsschlitze der Lüfterausbaugruppe bewegen die getrennten Wafer in einen mechanischen Pick-and-Place-Kopf, der sie auf einen Indexer-Drehteller überträgt. Der Aligner greift den Wafer, indiziert den Aligner und legt den Wafer in den indizierten Ausgabeschlitz ab. BROOKS 5858-1E2A1A3 ist mit zwei unabhängig voneinander gesteuerten Wafer-Lastschlössern mit einer maximalen Betriebstemperatur von 300 Grad Celsius ausgestattet. Die Doppelwafer-Lastschlösser können separat oder in Serie betrieben werden. Der Wafer-Handler unterstützt sowohl Nass- als auch Trockenbindeprozesse und kann für eine Vielzahl von Prozessschritten einschließlich Drahtbonden und Stanzverbinden verwendet werden. Darüber hinaus kann der Handler für den manuellen Betrieb mit einem separaten Schnittstellenmodul verwendet werden. Die Steuerelektronik und -software sind darauf ausgelegt, eine präzise Registrierung der Wafer zu ermöglichen und die Datenspeicherung von Prozessparametern und Rezepturen zu ermöglichen. Der Wafer-Handler ist für einen sicheren und effizienten Betrieb ausgelegt. Seine Materialkompatibilität und einfache Einrichtung machen es ideal für eine Reihe von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Die fortschrittliche modulare Architektur von PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 ermöglicht die Integration mit anderen Komponenten, wie Robotern und Stempelverarbeitern, um ein automatisiertes Stempelverarbeitungssystem zu schaffen. Die integrierte Vision-Einheit kann Fehler in der Orientierung, Größe und Form des verarbeiteten Produkts erkennen, was eine höhere Prozessgenauigkeit und verbesserte Ausbeute ermöglicht. Der Wafer-Handler ist außerdem mit einem Wartungs-Zugangsport ausgestattet, mit dem Benutzer die Maschine schnell überprüfen und warten können. Mit einer kompakten Größe und einem geräuscharmen Betrieb bietet 5858-1E2A1A3 maximale Leistung bei minimaler Unterbrechung.
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