Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 Wafer Handler ist eine leichte, vielseitige Maschine für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es ist in der Lage, Wafer bis zu 200mm oder 8 Zoll Durchmesser zu handhaben. Der Handler verwendet ein internes Wafer-Transportmodul, um Wafer vom Lader zum Wafer-Bearbeitungsgerät des Benutzers zu bewegen. Der Handler bietet Pick-, Platz- und Ausrichtungsmöglichkeiten für die präzise Handhabung von Wafern. Der automatisierte Wafer-Handler ist modular aufgebaut und besteht aus zwei unabhängigen Komponenten, Kopf und Schale. Der Kopf ist für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll ausgelegt. Es ist mit vier unabhängigen Endeffektoren ausgestattet, die die Wafer für eine ordnungsgemäße Handhabung ausrichten. Die Endeffektoren richten die Wafer so aus, dass sie sicher in den Halter passen und sie beim Transport am Biegen hindern. Der Kopf ist auf einer linearen Servoablage montiert, die eine reibungslose und präzise Bewegungssteuerung ermöglicht. Die beiden Servos steuern unabhängig die oberen und unteren Tabletts, so dass sich der Kopf in vertikaler oder horizontaler Richtung bewegen kann, um die Position des Wafers optimal auszurichten. Das Tablett oder die Basis ist die zweite Komponente des Handlers. Es ist mit einer Vakuumausrüstung ausgestattet, die den Wafer während des Transports sichert. Das Tablett verfügt außerdem über ein Reinigungssystem, das die Verschmutzung des Wafers minimiert und eine kritische Oberflächenvorbereitung vor dem Beladen ermöglicht. Der Wafer wird aus dem Tablett entnommen und in die Waferbearbeitungsanlage des Benutzers eingespeist, wodurch die Übertragung abgeschlossen wird. BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handler ist eine benutzerfreundliche Einheit, die für einen zuverlässigen Betrieb in Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Der modulare Aufbau, die Ausrichtungsmöglichkeiten und der automatisierte Ladevorgang der Maschine bieten maximale Flexibilität für die Waferübertragung. Das Werkzeug kann mit einer Vielzahl von Waferbearbeitungsgeräten integriert werden, was es zu einer idealen Wahl für mehrere Anwendungsszenarien macht.