Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 5877 #9353204 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 5877 ist ein automatisierter Wafer-Handler, der den Durchsatz und die Leistung in Waferverarbeitungsanwendungen maximiert. Es verfügt über eine einzigartige Single-Plane-Architektur, die den gleichzeitigen Transfer von bis zu 21 Wafern ermöglicht. Das Gerät ist vollautomatisch mit mehreren Stufen der automatisierten Handhabung, Be- und Entladung, um einen kontinuierlichen Durchsatz von Wafern zu gewährleisten. Der automatisierte Wafer-Handler ist mit vielen Funktionen ausgestattet, darunter Roboterarmsteuerungen, programmierbare Linearmotoren und ein voll funktionsfähiges programmierbares Logiksteuerungssystem (SPS). Die Roboterarmsteuerung ermöglicht eine präzise Bewegung der Wafer mit manuellen oder automatisierten Einstellungen. Die programmierbaren Linearmotoren ermöglichen eine konsistente und wiederholbare Bewegung der Wafer, während die SPS-Einheit den Austausch von Betriebsdaten mit anderen Systemen in der Anwendung ermöglicht. Darüber hinaus umfasst dieser automatisierte Wafer-Handler mehrere Sicherheitsmerkmale wie Über- und Unterfahrschutz sowie eine mechanische Verriegelungsmaschine. BROOKS 5877 beinhaltet auch ein Wafer Handling Subsystem, das auf einem Förderwerkzeug basiert. Dieses Teilsystem besteht aus Rollen und Bändern, die Wafer von der Ladestation zur Entladestation übergeben. Die Rollen bewegen die Wafer horizontal, während die Riemen sie vertikal bewegen. Darüber hinaus enthält das Wafer-Handler-Subsystem auch mehrere motorisch angetriebene Einrichtungen wie ein Plattenlaufwerk, einen Tastarm und einen Zähler. Das Plattenlaufwerk hebt und senkt die Wafer, der Sensorarm liest und zeichnet Waferdaten auf und der Zähler zeichnet die Anzahl der bearbeiteten Wafer auf. Darüber hinaus ermöglicht der integrierte Vision Asset eine präzise Nachführung von Wafern beim Be- und Entladen. Es reduziert auch die Rüstzeit, indem es die automatische Einrichtung von Wafergröße und Abstand unterstützt. Darüber hinaus verfügt PRI AUTOMATION 5877 über eine separate Wafer-Wärmebehandlungskammer, die über die SPS angeschlossen und gesteuert werden kann. Diese Kammer kann so programmiert werden, dass die Wafer auf verschiedene Weise behandelt werden, wie z.B. Glühen, Diffusion, Ätzen, Kapselung und Waferentbonden. Zusammenfassend ist 5877 ein automatisierter Wafer-Handler, der speziell für Wafer-Verarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über ein integriertes Vision-Modell, ein Wafer-Handling-Subsystem und eine Wafer-Wärmebehandlungskammer, die eine präzise Verfolgung und Behandlung von Wafern ermöglicht. Es ist auch in der Lage, bis zu 21 Wafer gleichzeitig zu handhaben und ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Insgesamt bietet dieser automatisierte Wafer-Handler eine zuverlässige und effiziente Lösung für Waferbearbeitungsanwendungen.