Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 70013740 #9169687 zu verkaufen

ID: 9169687
Vertical transfer 1/2" TRK 2.9M High.
BROOKS/PRI AUTOMATION 70013740 Wafer Handler ist ein vielseitiges Stück Laborausrüstung zum sicheren Transport von Halbleiterscheiben während der Herstellung und Tests. Der Wafer-Handler eignet sich für die Handhabung einer breiten Palette von Wafergrößen, darunter bis zu 8 Zoll Durchmesser Wafer und große 12 Zoll Wafer. Es kann in Reinräumen der Klassen 10 bis Klasse 1000 verwendet werden. BROOKS Wafer Handler verfügt über einen dreiachsigen Wafer-Transportmechanismus, der auf eine genaue Position eingestellt werden kann. Es ist mit einem fortschrittlichen Bewegungssteuerungssystem und einem einzigartigen Vision-Verifikationsmodul ausgestattet, um einen genauen und sicheren Wafertransport zu gewährleisten. Es hat eine maximale Waferkapazität von zwei, so dass mehrere Wafer gleichzeitig gehandhabt werden können. Die kompakte horizontale Bauweise sorgt für einen konstanten und zuverlässigen Betrieb. Neben der dreiachsigen Bewegungssteuerung umfasst PRI AUTOMATION Wafer Handler auch eine Vielzahl von Automatisierungsfunktionen. Es kann bis zu zwölf verschiedene Sollwerte speichern, wie zum Beispiel zum Ein- und Ausladen von Wafern in das Kassettengestell, rotierende Wafer und deren Positionierung oberhalb des Prozesswerkzeugs. Es enthält auch eine automatische Transportparameter-Kalibrierung, die verwendet werden kann, um den Transportmechanismus einzustellen, um eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Bewegung zu ermöglichen. BROOKS/PRI AUTOMATION Wafer Handler ist auch mit einem sehr zuverlässigen Vakuum-Hold-Feature ausgestattet. Diese Funktion nutzt die Absaugung, um kleinere Wafer fest zu greifen und sie während des Handhabungsprozesses vor Beschädigungen und Kontaminationen zu schützen. Der Handler ist auch mit einer Anti-Vibrations-Abdeckung ausgestattet, die das System durch andere Maschinen oder Prozesse von Vibrationen aus der Umgebung isoliert. Der Wafer-Handler verfügt zudem über mehrere benutzerfreundliche Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören Inline-Sicherheitsschlösser, um sicherzustellen, dass nur autorisiertes Personal Zugriff auf die Maschine hat. Es enthält auch eine Sicherheitsverriegelung, die verhindert, dass der Handler aktiviert wird, wenn die Hände des Bedieners zu nahe an der Maschine sind. BROOKS Wafer Handler ist eine ideale Lösung für die Verarbeitung einer Vielzahl von Wafergrößen und Materialien in Anwendungen wie Halbleiterherstellung, Prüfung und Verpackung. Es bietet Anwendern zuverlässige, genaue und sichere Handhabung von Wafern.
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