Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-7232-01 ist ein Wafer-Handler, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, 6 bis 8 Zoll Wafer aus Kassetten zu handhaben, sie auf ein Vakuumfutter zu übertragen und zu orientieren und von und zu Prozesskammern zu transportieren. Das Automatisierungssystem besteht aus einer Reihe von Riemen, Antriebswellen und linearen Bewegungsaktuatoren, die harmonisch arbeiten, um eine reibungslose und präzise Bewegung während des gesamten Bewegungsbereichs zu ermöglichen. Herzstück der Einheit ist der Transferarm. Es handelt sich um eine mehrachsige Vorrichtung bestehend aus zwei unabhängig angetriebenen Armen, die eine präzise und genaue Kontrolle über den Wafer innerhalb seines Arbeitsbereichs ermöglicht. Die Basis des Übertragungsarms ist an einem vertikalen Stützpfosten befestigt, der einen freien Bewegungsbereich um alle drei Achsen ermöglicht. Die Basis des Armes ist auch mit einem Vakuumanschluss ausgestattet. Dieses Vakuum dient dazu, den Wafer innerhalb seines Arbeitsbereichs sicher zu erfassen und gleichzeitig eine minimale Bewegung zu ermöglichen. Die Basis des Armes ist außerdem mit einem Orientierungssensor (oder 'Auge') ausgestattet, mit dem die Orientierung des Wafers beim Bewegen erkannt wird. Es kann sowohl im Uhrzeigersinn als auch gegen den Uhrzeigersinn sowie die Ausrichtung nach oben und unten erkennen. Ein weiterer integraler Bestandteil der Maschine ist das Vakuumfutter. Es ist eine flache kreisförmige Plattform, die am Ende des Transferarms angebracht ist. Er ist so ausgelegt, dass er den Wafer während des Transports von und zur Prozesskammer sicher ergreift. Das Spannfutter ist mit einer Reihe von Stiften ausgestattet, die zum Zurückziehen ausgelegt sind, wenn das Saugen stattfindet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer sicher gehalten wird und trotzdem eine minimale Bewegung ermöglicht wird. Das Werkzeug ist auch mit einer Reihe von Riemen ausgestattet, die die Wafer von der Kassette in die Prozesskammer übertragen. Die Riemen werden alle von einem Servomotor angetrieben, der eine reibungslose und präzise Steuerung der Geschwindigkeit und Richtung des Riemens ermöglicht. Das Asset ist zudem mit einer Reihe von Grenzschaltern und Sensoren ausgestattet, die sicherstellen, dass Wafer immer korrekt übertragen werden und der Prozess nicht unterbrochen wird. BROOKS 9700-7232-01 ist ein hochfähiges Modell, das präzise und präzise Wafer-Handhabungsfunktionen für Halbleiterherstellungsprozesse bietet. Sein robustes Design und sein breites Spektrum an Funktionen sorgen dafür, dass er eine Vielzahl von Wafern von 6 bis 8 Zoll handhaben kann. Die Kombination aus fortschrittlichen Bewegungs- und Orientierungsfähigkeiten, zuverlässigen Gurt- und Spannfuttersystemen und zahlreichen Sensoren macht es zur perfekten Wahl für das automatisierte Wafer-Handling in einer Vielzahl von Anwendungen.