Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-8106-01 #9175431 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-8106-01 ist ein automatisierter Wafer-Handler, der in automatisierten Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Es ist eine 8-Achsen-Roboteroblatenberührenausrüstung, die für den Gebrauch in 200-mm- und 300-Mm-Oblatenherstellungsprozessen entworfen ist. Das System integriert präzise Bewegungssteuerungs- und Robotik-Technologien und ist in der Lage, Wafer aus und zu einer Vielzahl von Quellen zu be- und entladen, einschließlich Kassetten, Frontend-Wafer-Prozesswerkzeuge und Messwerkzeuge für kritische Abmessungen. Das Gerät wird von einer robusten computergesteuerten Maschine mit modernster Bewegungssteuerung angetrieben. Es verwendet einen Schrittmotor zur präzisen Positionierung und Steuerung und ein volldigitales Servoantriebswerkzeug für eine reibungslose, reaktionsschnelle Beschleunigung und Verzögerung. Fehlererkennungs- und Korrekturalgorithmen werden verwendet, um ein genaues und sicheres Be- und Entladen von Wafern und Werkzeugen zu gewährleisten. Das Asset verwendet einen leistungsstarken Mikroprozessor, um die Kassette automatisch zu scannen und die Wafer und ihre Ausrichtung zu identifizieren. BROOKS 9700-8106-01 ist auf Zuverlässigkeit und Leistung ausgelegt. Seine Bewegungsregler, Roboterarme und Sensoren sind für den Betrieb unter den strengsten Umgebungsbedingungen im Zusammenhang mit Halbleiterherstellungsanlagen konzipiert. Das Modell ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die Schäden an Wafern, Werkzeugen und Personal verhindern. Es enthält beispielsweise eine Sensoreinrichtung, die den Prozess automatisch stoppt, wenn ein Hindernis im Weg des Roboterarms erkannt wird. Es beinhaltet auch ein Kollisionserkennungssystem, das ein sicheres Löschen identifiziert und wartet, bevor es vorwärtsgeht. PRI AUTOMATION 9700-8106-01 ist auch einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Bediener einen Auftrag schnell einrichten, überprüfen und auf die Maschine übertragen können. Die Software der Maschine kann auch schnell aktualisiert werden, um den sich entwickelnden Anforderungen gerecht zu werden. Darüber hinaus läuft das Gerät zuverlässig über lange Zeiträume mit minimalem Wartungsaufwand. 9700-8106-01 ist ein effektives Werkzeug zum automatisierten Be- und Entladen von Wafern und Werkzeugen. Das robuste Design, die präzise Bewegungssteuerung und die Sicherheitsmerkmale machen es zu einer zuverlässigen Wahl für den Einsatz in komplexen Halbleiterherstellungsprozessen. Mit seinen fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen und der benutzerfreundlichen Software ist die Maschine eine wirtschaftliche und zuverlässige Wahl für Halbleiterproduktionsanlagen, die ein vollautomatisches Wafer-Handhabungswerkzeug benötigen.
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