Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #188172 zu verkaufen

ID: 188172
Robot Includes: Controller Prealigner Track KLA / TENCOR 300DFF1P.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 ist eine fortschrittliche Wafer-Handling-Lösung zur Automatisierung von Halbleiterherstellungsprozessen. Es ist für Reinraumanwendungen konzipiert, die durch integrierte Steuerungen und eingebaute Sicherheitssysteme eine hohe Bedienungsflexibilität aufweisen. BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293 ist mit allen notwendigen digitalen Ein- und Ausgängen für die Maschinenintegration und -steuerung ausgestattet. Es ist mit einem Edelstahlrahmen und einem langlebigen und zuverlässigen motorgetriebenen mechanischen Teile für maximale Zuverlässigkeit und Leistung gebaut. PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293 passt für 300 mm und 200 mm Wafer Handling. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Wafertypen und -größen in Form von Stempeln oder Wafern unterzubringen und eine präzise Automatisierung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Es verfügt über einen großen Arbeitsbereich mit einer hochpräzisen Höhenverstellung, oberhalb und unterhalb der Kassetten, bis zu 300 mm in der Größe. Die mechanischen Teile der Einheit sind mit einer Reihe von Merkmalen ausgelegt, um eine Flexibilität der Bedienung zu ermöglichen. Dazu gehören Riemenscheiben-Set-ups, Wafer-Öffnung, Beladung und Orientierungssteuerung sowie manuelle Anpassungen zur Vorbereitung des Materials und Positionierung der Wafer im Handhabungsteil der Baugruppe. BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293 ist konfigurierbar für zwei oder vier Kassetten. Es hat auch separate Kassettenorientierungen und kann programmiert werden, um mehrere Wafertypen auszuführen. Die Waferorientierungen können an beliebige Wafergrößen, Formen oder Formfaktoren angepasst werden. Das Gerät verfügt zudem über eine manuelle Kurzwahl zur präzisen Waferausrichtung und einen manuellen Stoßdämpfer für einstellbare Waferbelastungsgenauigkeit. Seine hochpräzisen Sensoren ermöglichen eine schnelle und genaue Wafer-Erfassung und -Übertragung mit integrierten Vakuumsystemen, die die Bewegung der Wafer steuern. Das Gerät umfasst auch manuelle und automatische Sicherheitszonen zum Schutz der Bedienersicherheit bei der Arbeit mit dem Gerät. PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 ist einfach einzurichten und zu bedienen, und sein modularer Aufbau bietet eine einfache Plug-and-Play-Schnittstelle. Die Kombination aus integrierten Steuerungen und modularen Funktionen sorgt für ein fehlerfreies Inbetriebnahmeverfahren und eine nahtlose Integration in bestehende Geräte. Das System ist vollständig kompatibel mit mehreren Industriestandard-Betriebssystemen und ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die die strengsten globalen Sicherheitsvorschriften erfüllen, einschließlich SEMI S2 und ISO 13849.1.
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