Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407 #9252610 zu verkaufen

BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407
ID: 9252610
Wafergröße: 8"-12"
Atmospheric wafer handling robots, 8"-12" Single arm.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407 ist eine Wafer-Handhabungsanlage für automatisierte Montage- und Fertigungsprozesse in der Mikroelektronikindustrie. Diese Maschine kann verwendet werden, um Wafer genau und schnell auf eine Vielzahl von Substraten oder Futtersystemen für die Prüfung oder Produktion zu platzieren und auszurichten. BROOKS ABM-407 besteht aus einem Inline VTEM™ Quick-Change (QC) Head mit integriertem Werkzeugkopf, einer zweiachsigen Z-Achsen-Stufe, einer zweiachsigen X-Y-Stufe und einem integrierten Controller. Der VTEM™ QC-Kopf ist so konzipiert, dass schnell zwischen Spannfutter und Wafer Platzierung Werkzeugköpfe on-the-fly umgeschaltet. Dies ermöglicht verkürzte Zykluszeiten und eine Vielzahl von Werkzeugfunktionen. Die zweiachsige Z-Achsen-Stufe kann sowohl Z-Achsen-Einstell- als auch Linearmotor-Werkzeugfunktionen ausführen. Die zweiachsige X-Y-Stufe ist in der Lage, die Wafer-Spannköpfe oder andere Werkzeugköpfe auf die Substrate oder Spannfutter zu steuern. PRI AUTOMATION ABM-407 ist mit einem Linearmotorwerkzeug und einer einstellbaren Z-Achsen-Technologie ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Wafer während des Montageprozesses ausgerichtet bleiben. Es ist in der Lage, Wafer von 50mm bis 300mm Durchmesser mit einem Bereich von 5-300mm zu handhaben. Die Werkzeuggeschwindigkeit beträgt bis zu 120.000 + Bewegungszyklen pro Sekunde und ist mit einem Beschleuniger und Verstellern für hohe analytische Genauigkeit ausgestattet. ABM-407 ist auch mit einem Präzisions-Wafer Ring Detection (WRD) -System ausgestattet, das die Platzierungsposition eines Wafers genau identifizieren kann. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407 verfügt zudem über eine integrierte Vision Unit zur präzisen Platzierung der Wafer sowie eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen zur einfachen Integration in bestehende Systeme. Sie kann auch als eigenständige Maschine für Tests und Prozesse eingesetzt werden. Das umfassende Softwarepaket ist in der Lage, die Maschine schnell für eine Vielzahl von Aufgaben zu konfigurieren und zu kalibrieren. Abschließend ist BROOKS ABM-407 ein fortschrittlicher Wafer-Handler für hochwertige und präzise automatisierte Montage- und Produktionsprozesse. Diese Maschine ist mit einer Reihe von Funktionen wie einem QC-Kopf, einem verstellbaren Z-Achsen-Werkzeug, einer einstellbaren X-Y-Bühne, einem WRD-Asset und einem Vision-Modell sowie einem integrierten Controller und einer umfassenden Software-Suite ausgestattet. Seine Fähigkeit, schnell zwischen Werkzeugköpfen zu wechseln, und seine beeindruckende Geschwindigkeit machen es zu einer idealen Wahl für Serienumgebungen.
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