Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #9171112 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9171112
Robot
KLA / TENCOR / ASD P/N:0014446-000
P/N: 0190-22246W
2003 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird, um die Bewegung von Wafersubstraten auf sichere und kontrollierte Weise zu erleichtern. Dieses Gerät wurde entwickelt, um Verunreinigungen und Schäden an Wafersubstraten zu minimieren und die Produktionskosten zu minimieren. BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293 hat eine kleine Rahmengröße, die es ermöglicht, sowohl diskrete als auch kontinuierliche Wafer in verschiedenen Größen zu handhaben. Es hat eine maximale Toleranz von ± 25µm für die Variation der Waferdicke, so dass Wafer sicher und reibungslos auf dem Transportweg fahren. Es ist auch mit hoher Genauigkeit, hoher Geschwindigkeit und Stabilität gebaut, so dass es genau und schnell Wafer von Punkt zu Punkt in einer sicheren und zuverlässigen Weise bewegen. PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 wurde entwickelt, um sowohl mit Vakuum als auch mit mechanischer Waferbelastung zu arbeiten. Der integrierte Drehhub und Servohub sorgen für eine präzise Positionierung und Ausrichtung der Wafer, so dass empfindliche Wafersignaturen erhalten bleiben. Sein ausgeklügeltes Bewegungssteuerungssystem verfügt über fortschrittliche Algorithmen, um Fehlstellungen zu korrigieren und Störungen oder Kollisionen während des Wafer-Handhabungsprozesses zu verhindern. ABM-407B-1-S-CE-S293 umfasst auch Schwingungsisolations-, Klima- und Schwingungsdämpfungssysteme, um sicherzustellen, dass die Bewegung des Roboterarms frei von unnötigen Geräuschen oder Vibrationen ist. Dies reduziert das Risiko von Schäden an Wafern und minimiert Kontaminationen. Es verfügt auch über eine trockene saubere Basis und Anschlüsse, um Luft und Gase aus dem System zu spülen, um den Schutz von Wafern vor Kontamination zu gewährleisten. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 verfügt über eine breite Palette von Schnittstellen, einschließlich einer Reihe von Schnittstellen, um den Anschluss von Vakuumpumpen, Greifern, Linearantrieben und Motorantrieben zu ermöglichen. Dies macht es kompatibel mit einer Reihe von Wafer-Fertigungssystemen, von Einstiegssystemen bis hin zu komplexen Automatisierungsanwendungen. Es ist auch kompatibel mit vollen Bildverarbeitungssystemen, die erweiterte Bewegungssteuerung und Verfolgungsfunktionen ermöglichen. Abschließend ist BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293 ein fortschrittlicher, kompakter Wafer-Handler, der empfindliche Wafersubstrate vor Kontamination und anderen Schäden schützt und gleichzeitig eine hochgenaue und zuverlässige Bewegungssteuerung bietet. Seine Vibrations- und Klimakontrollsysteme, seine trockenreine Basis und seine umfassenden Schnittstellen sorgen dafür, dass es in der Lage ist, eine breite Palette von Wafertypen und Fertigungssystemen zu handhaben.
Es liegen noch keine Bewertungen vor