Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-100 #9064556 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100 ist ein leistungsstarker Wafer-Handler, der den Anforderungen moderner Elektronik- und Halbleiterherstellungsanlagen gerecht wird. Das Gerät verwendet eine mehrachsige Bewegungsausrüstung, Hochgeschwindigkeits-Roboterarme und digitale Bildverarbeitung, um Wafer in einer Vielzahl von Größen und Formen schnell und präzise zu bewegen, zu reinigen, zu inspizieren und zu transportieren. BROOKS ATM-100 verfügt über ein fortschrittliches Vision-System mit drei hochauflösenden Kameras, die eine Vielzahl von Funktionen ausführen. Die integrierte Seheinheit ist in der Lage, Position und Orientierung von Wafern während der Platzierung sowie schnelle Kanten- und Eckenerkennung zu korrigieren. Ein integrierter Vision-basierter Zentrieralgorithmus ermöglicht es dem Gerät, zuverlässig zu positionieren und auf die wahrgenommene Position jedes Wafers zu reagieren. Die integrierte Vision-Maschine ermöglicht es dem Handler auch, zwischen verschiedenen Wafertypen zu unterscheiden und kritische Abmessungen und Unvollkommenheiten zu verifizieren. PRI AUTOMATION ATM-100 verfügt auch über ein integriertes thermisches FOUP (Front Opening Unified Pod) Handhabungswerkzeug, das sowohl offene als auch geschlossene FOUP-Container handhabt und einen halbautomatischen Transfer von einem Waferlader zu anderen Verarbeitungsgeräten ermöglicht. Dieses Gerät verfügt über eine vakuumbasierte Wafer-Handling-Technologie, die in der Lage ist, eine schonende und präzise Teilehandhabung zu gewährleisten, unter Beibehaltung der höchstmöglichen Durchsatz und Genauigkeit. ATM-100 verfügt auch über anwendungsspezifische Handhabungsalgorithmen, die auf die Bedürfnisse des Bedieners abgestimmt sind. Diese Technologie ermöglicht effiziente benutzerabhängige Handhabungsroutinen für Teile. Das Gerät enthält außerdem ein proprietäres Secure Semiconductor Data Exchange Protocol für den sicheren Datenaustausch von Waferinformationen, das Flexibilität und Produktivität ermöglicht. Im Hinblick auf die Sicherheit umfasst BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100 manuelle Be- und Entladesicherheitszonen und externe Nothaltestellen sowie einen Standard-Ein-/Ausgangsport für die Überwachung und den Anschluss von Alarmsystemen. Das Gerät verwendet auch kontaminationsfreie Methoden, einschließlich Druckhülsen und stickstoffgetriebene Reinraumprotokolle. Zusammenfassend ist BROOKS ATM-100 ein umfassender Wafer-Handler mit fortschrittlichen Bildverarbeitungssystemen, vakuumbasierter Handhabung, anwendungsspezifischen Handhabungsalgorithmen und proprietären sicheren Halbleiterdatenaustauschprotokollen, um die Leistung in modernen Elektronik- und Halbleiterherstellungseinrichtungen zu maximieren. Das Gerät enthält auch Sicherheitsfunktionen wie Eingangs-/Ausgangsanschluss und stickstoffgetriebene Reinraumprotokolle zum Schutz der Benutzer.
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