Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #185016 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS ist ein automatisierter Wafer-Handler, der eine hochgenaue Waferübertragung und -ausrichtung ermöglicht. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm zu handhaben, und verwendet einen 2-Achsen-Roboterarm, um den Wafer zwischen verschiedenen Kassettensystemen zu bewegen. Der Arm kann programmiert werden, um den Wafer in bis zu drei Achsen unter manueller Steuerung zu bewegen, was eine präzise und genaue Ausrichtung des Wafers ermöglicht. BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS ist mit optischen Sensoren zur Wafererkennung ausgestattet, die es ermöglichen, jeden Wafer in der richtigen Kassettenausrüstung genau zu lokalisieren, zu positionieren und auszurichten. Ein Vision-System kann auch verwendet werden, um den Wafer während des Transfers zu orientieren und auszurichten. Darüber hinaus kann der Roboterarm programmiert werden, um den Wafer nach Bedarf zu klemmen und auszulampfen. PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS ist als zuverlässige, wiederholbare und sichere Wafer-Handhabungslösung konzipiert. Es erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners, wobei nur grundlegende Benutzereingaben erforderlich sind, um den Roboterarm zu programmieren. Das Gerät verwendet auch ein Selbsttestverfahren vor und nach dem Betrieb, mit dem es Diagnosetests automatisch ausführen und eventuelle Fehler identifizieren und melden kann. ATM 105-1-2-S-RHS ist mit einem starren Aluminiumrahmen konstruiert und enthält einen Staubfilter, um saubere Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Es ist auch mit einer Reihe von Sicherheitskomponenten ausgestattet, die die langfristige Sicherheit von Operativen gewährleisten, einschließlich Säuresensoren und einer Brandschutzmaschine. Das Werkzeug kann bei Bedarf auch mit zusätzlichen Sicherheitsoptionen ausgestattet werden. Schließlich können BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS in einer Vielzahl von Wafer-Handling-Anwendungen eingesetzt werden. Dies macht es für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellung, Forschung und Laboreinrichtungen geeignet. Mit seiner hohen Genauigkeit, Programmierbarkeit und Zuverlässigkeit ist BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS eine ideale Lösung für die automatisierte Waferübertragung und Ausrichtung.
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