Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler für die Verarbeitung eines einzelnen Wafersubstrats. Es ist in der Lage, bis zu 1.200 Wafer pro Stunde zu betreiben und bietet Platz für 6- bis 8-Zoll-Wafer. Dieser Wafer-Handler ist so konfiguriert, dass er direkt mit einem BROOKS ATM Wafer Inspection and Metrology Equipment wie dem ATM- 210-600-100-S integriert werden kann. Er ist auch an einen ZED Automation Roboterarm zur Waferübergabe zwischen Wafer-Handler und Metrologie-Systemspuren anschließbar. BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS wird in einem Edelstahlrahmen gehüllt, ist UL-bewertet und verfügt über ein sanitäres Design, das JEDEC Reinraumstandards entspricht. Bis zu 150 Wafer-Kassetten können dank Dual-Sided Mode sicher im Gerät geliefert werden, wo der Handler je nach Anforderungen des Bedieners an die Wafer-Entladung von beiden Seiten des Geräts aus betrieben werden kann. Das Gerät verfügt außerdem über Sicherheitstüren, die das Maschinenintegrationspersonal bei der Arbeit mit dem Gerät vor möglichen Schäden schützen. PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS wird von einem Wechselstromantrieb mit einer dreiphasigen 110 oder 208V Leistung angetrieben und kann autonom mit einer Geschwindigkeit von 0-200 Hälften/Minute laufen. Es verfügt auch über pulsbreitenmodulierte (PWM) Bewegungssteuerung, optische Encoder mit einer Auflösung von 1024 Puls/Umdrehungen, die eine hochgenaue Bewegungssteuerung aufrechterhält, und ein TeachPendant Kommunikationsmittel. Die PWM und Optimierungstechniken ermöglichen es dem Gerät, alle Bewegungen innerhalb von 0,001 Zoll Wiederholbarkeit zu halten. Alle internen Antriebe, Sensoren, Endschalter und elektrischen Systeme sind SPS und HMI gesteuert, um einen ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten. ATM 105-1-2-S-RHS verfügt zudem über ein Vakuumfutter-Modell zum präzisen Positionieren und Laden von Wafern auf das Gerät. Das Gerät verfügt über einen Lasersensor und eine Vision-Ausrüstung, die die direkte Waferorientierung unterstützt und den Bediener aktualisiert, wenn ein Wafer verpasst wird. Zusätzlich ist das Gerät mit einem Unterbrechungserkennungssystem ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Waferbewegung konsistent ist und ein unterbrochener Wafer genau neu ausgerichtet wird und zurück auf den Weg geht. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS ist ein effizienter und zuverlässiger Wafer-Handler, der für fortschrittliche Technologieanforderungen ausgelegt ist. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Funktionen ermöglichen eine verbesserte Betriebseffizienz und Sicherheit, während sein sanitäres Design eine sichere Arbeitsumgebung gewährleistet. Dieser Wafer-Handler ist die perfekte Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige Einheit suchen, die mit schnellen Produktionsraten Schritt halten und ihnen helfen, der Kurve voraus zu sein.
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