Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE ist ein mehrachsiger Wafer-Handler, der die Effizienz von Waferbearbeitungsgeräten maximiert. BROOKS ATM-105-1-S-CE ist ein leistungsstarker Wafer-Handler, der Wafer punktgenau und präzise scannen, schneiden und entladen kann. Dieser Wafer-Handler bietet wiederholbare Schritt- und Wiederholbewegungen und den höchsten erreichbaren Durchsatz auch bei kleinen, anspruchsvollen Wafern. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE besteht aus 4 Platinen, darunter eine Steuerkarte, eine E/A-Platine und eine Encoder-Platine. Das Control Board enthält ein IBM PC-basiertes System mit Microsoft Windows 95/98/00/NT Betriebssystem mit einer mit Begleitsoftware installierten Stepper Motor Controller Card. Die I/O-Platine, die den Schrittmotor antreibt, befindet sich am Rand der Elektronikbaugruppe. Die Encoderplatine empfängt Impulse vom Schrittmotor und die elektronischen Komponenten spielen eine Rolle bei der Überwachung der Systemtemperatur. Schrittmotor und Encoderplatinen sind direkt mit dem Zentralprozessor (CPU) und dem Speicher verbunden. ATM-105-1-S-CE verfügt über mehrere Scan- und Slicing-Funktionen und ein optimiertes OEM-Wafer-Handling-Softwarepaket. Der Wafer-Handler verfügt über einen patentierten „Smooth“ -Scanmodus, der eine wiederholbare und extrem genaue Wafer-Schnittleistung bietet. Es unterstützt auch mehrere Wafergröße Handhabung und Schneiden, was es ideal für eine Vielzahl von Wafer-basierten Anwendungen macht. Die maximale manipulierte Wafergröße ist 8 "Durchmesser, aber es kann auch größere Wafer mit dem richtigen Adapter installiert behandeln. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE umfasst eine Standardanzahl von Funktionen, wie elektronische Geschwindigkeiten, die dazu beitragen, einen schnelleren Prozess mit schnellerem Durchsatz zu erreichen. Seine bequemen Schiebeplatten sowie die Vakuumsauger und der Niederkraftgreifer ermöglichen das Be- und Entladen von Wafern, ohne mit den aktiven Oberflächen des Wafers in Berührung zu kommen. Darüber hinaus ermöglicht die Umlaufkugelspindel glatte und schonende, für Reinigungszwecke kritische Waferbewegungen. Schließlich verfügt der Wafer-Handler über eine intuitive Benutzeroberfläche mit Live-Grafikanzeige. Diese Benutzeroberfläche beinhaltet einen programmierbaren Logikcontroller (SPS) zur Ermöglichung des Anlagenbetriebs, und es sind mehrere Kommunikationsanschlüsse zur Anbindung externer Geräte oder zur Anbindung an Systeme wie UPW-Plantwide-Überwachungssysteme vorgesehen. Mit seinem hochmodernen Design der Motorsteuerung bietet BROOKS ATM-105-1-S-CE einen schwer zu überbietenden Wafer-Handling-Durchsatz und Genauigkeit.