Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE Wafer Handler ist eine leistungsstarke Wafer Handhabung Ausrüstung entwickelt, um überlegene Ausbeute und Zuverlässigkeit durch modernste, ultraschnelle Bewegungsfunktionen zu bieten. Die Maschine ist für eine präzise und reproduzierbare Wafer-Positionierung konzipiert und bietet die optimale Prozessstabilität und Ausbeuten für die Herstellung von Halbleiter- und Wafer-integrierten Schaltungen. BROOKS ATM-105-1-S-CE ist in der Lage, bis zu 12-Zoll (300mm) Wafer zu handhaben, so dass es gut für die Serienproduktion geeignet ist. Es ist mit einem außergewöhnlich schnellen Bewegungssystem ausgestattet, das einen Hochgeschwindigkeits-Linearmotor mit hoher Genauigkeit, einen kompakten zweiachsigen Servomotor und einen proprietären ultraschnellen Schrittmotor umfasst, der eine schnelle, wiederholbare und zuverlässige Positionierung und Wiederholbarkeit auf Nanometerebene ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein hochsteifes, großes Profilgantry-Design, wodurch sie für eine hochgenaue Nanoprozessur geeignet ist. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE enthält auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die die Zykluszeit reduzieren und den Durchsatz erhöhen sollen. Zum Beispiel nutzt es die Adaptive Recipe Learning (ARL) -Technologie, die automatisch optimale Verarbeitungsbedingungen für jeden einzelnen Wafer lernt und das effizienteste Rezept basierend auf den Echtzeitmessungen der Maschine erzeugt. Zusätzlich ist die Maschine mit dem Real-Time Tool Action Monitoring (RTM) ausgestattet, einer werkzeugzentrierten Überwachungseinheit, die den ereignisabhängigen Betrieb der Kammer und ihrer Komponenten misst, aufzeichnet und meldet. Dies gewährleistet einen optimalen Betrieb und liefert Daten für weitere Analysen und weitere Prozessoptimierungen. ATM-105-1-S-CE enthält auch Multiple Chamber Loading/Unloading (MCLU), die eine kontinuierliche Herstellung von Wafern mit verschiedenen Prozessrezepten ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine ausgeklügelte Benutzeroberfläche, die programmierbare Alarme, Selbstdiagnose und eine Warnmaschine bietet. Das Werkzeug bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Sicherheitszone, Lasersensoren und einen automatischen Abbruchzyklus, um eine sichere Produktionsumgebung zu erhalten. Insgesamt ist BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE Wafer Handler eine äußerst zuverlässige, effiziente und präzise Wafer Handling Maschine, die die ultimativen Prozesserträge bietet. Es ist ideal für die integrierte Schaltkreis- und Halbleiterproduktion auf Hochvolumenebene, und seine fortschrittliche Mikropositionierungstechnologie macht es für die Nanoprozessierung geeignet. Das umfangreiche Leistungsspektrum macht es zu einem äußerst attraktiven und kostengünstigen Asset.