Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 ist ein leistungsstarker Wafer-Handler für fortschrittliche Automatisierungslösungen in der Halbleiterproduktion. Dieses Tool bietet eine vollständig integrierte Plattform für die Übertragung von Wafern zwischen Prozesswerkzeugen und Tabletts mit präziser Genauigkeit und Kontrolle. Dieses Werkzeug basiert auf einem kompakten, modularen Aufbau, der eine einfache Installation und Wartung ermöglicht. Der Hauptrahmen von BROOKS ATM-105 ist aus einem starren Aluminiumblechgerüst gefertigt und bietet eine extrem stabile Struktur für noch höhere Durchsatzanforderungen. Die hochgenaue vakuumbasierte Wafer-Handling-Ausrüstung beinhaltet ein Dual-Rail-Vakuum-basiertes Shuttle und Wafer-Spannfutter für zuverlässigen Greiferbetrieb. Eine fortschrittliche Autoleveling-Funktion kompensiert alle Abweichungen im vakuumbasierten Transferschienensystem und gewährleistet eine präzise Wafer-Handhabung ohne manuelle Anpassung. Ein motorisch angetriebener Hochgeschwindigkeits-Drehantrieb sorgt für reibungslose, präzise Drehungen, während ein präziser Linearantrieb eine ultraschnelle, reibungslose Indexierung von Wafern ermöglicht. PRI AUTOMATION ATM 105 ist auch mit einem fortschrittlichen einhändigen Roboterarm konzipiert, der eine schnelle, nahtlose Übertragung von Wafern zwischen Prozesswerkzeugen und Tablettträgern ermöglicht. Die Kombination aus Roboterarm und vakuumbasiertem Wafer-Handling ermöglicht auch ein schnelles, konsistentes Be- und Entladen von Wafern von und zu Tabletts. Darüber hinaus ermöglicht PRI AUTOMATION ATM-105 mit einer fortschrittlichen Vision Guidance Machine die präzise Ausrichtung von Wafern und Tabletts und sorgt so für Genauigkeit und Wiederholbarkeit. ATM 105 verfügt auch über ein leistungsstarkes Steuerungstool mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Diese Steuerung ermöglicht eine ferngesteuerte, direkte Steuerung aller Funktionen und bietet eine präzise Steuerung und detaillierte Prozessüberwachung. Die GUI bietet dem Anwender auch eine Echtzeit-Visualisierung der Wafer-Handler-Umgebung, so dass der Anwender problemlos aktuelle Daten und Prozessinformationen anzeigen kann. Kurz gesagt, BROOKS ATM 105 Wafer Handler ist ein leistungsfähiges und präzises Werkzeug, das Hochleistungs-Wafer Handhabungslösungen für fortschrittliche Automatisierung in der Halbleiterproduktion bietet. Mit seiner hohen Genauigkeit, Präzision und benutzerfreundlichen Schnittstelle ist ATM-105 eine ideale Wahl für Automatisierungslösungen in der heutigen Halbleiterherstellung.