Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 ist ein Wafer-Handler für Mittelklasse-Wafer-Fertigungsanwendungen, wie CMP, CVD und Etch. BROOKS ATM-105 ist eine modulare Ausrüstung, die auf Flexibilität ausgelegt ist, um eine breite Palette von Substraten und Prozessen unterzubringen. Es verfügt über ein Hochgeschwindigkeits-Flachflugzeug 'in-line' -Transportsystem, das eine exakte Steuerung der Waferträgerbewegung, eine genaue Messung von Position und Geschwindigkeit sowie eine stabile, zuverlässige, konstante und wiederholbare Genauigkeit bietet. PRI AUTOMATION ATM 105 bietet mit seinem Standard- LNC-1000 und Kommunikationspaket auch die komplette Gerätesteuerung. Dieses Paket beinhaltet die Möglichkeit, Ausrüstungsparameter und Verarbeitungsrezepte zu definieren, mit denen jeder Prozessschritt schnell eingerichtet werden kann. BROOKS ATM 105 verfügt über einen verbesserten Wafer-Handhabungsmechanismus, der das Wafer-Würfeln während der Handhabung minimiert. ATM 105 verfügt über einfach zu wartende pneumatische, elektrische und mechanische Komponenten, die eine einfache Wartung ermöglichen und eine schnelle Reaktion und reduzierte Ausfallzeiten ermöglichen. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105 kalibriert automatisch jede Kassette beim Einbau in das Gerät und erkennt schnell, wann eine andere Kassette installiert wurde, wodurch eine genaue, wiederholbare Wafer-Verfolgung und -Übertragung gewährleistet ist. Mehr Genauigkeit kann durch den Anschluss einer hochgenauen Inspektionskamera zur Waferorientierung erreicht werden. PRI AUTOMATION ATM-105 ist in der Lage, die Identifizierung von Merkmalen zu automatisieren, sodass sie fortgeschrittene Entscheidungen treffen kann, welche Routen für jede Waferoberfläche zu nehmen sind. Die Maschine verbessert den Durchsatz und reduziert nicht wertschöpfende Vorgänge durch Echtzeitausrichtung und Inspektion von Waferfunktionen. ATM-105 können Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "mit einer PC-gesteuerten Schnittstelle verarbeiten, was eine benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht. Das Tool bietet auch eine Ethernet-Schnittstelle für den Fernzugriff auf Geräte, Betreiber und Prozessmanagementsysteme. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 ist ein zuverlässiges, effizientes und sicheres Asset, das in einer Vielzahl von Prozess- und Produktionsumgebungen eingesetzt werden kann. Seine hohe Kontrolle und Genauigkeit macht es zu einer idealen Lösung für Mittelklasse-Wafer Herstellungsprozesse