Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CE #9209886 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CE Wafer Handler ist eine Roboter-Ausrüstung für den sicheren und effizienten Umgang mit Wafern bis 12 Zoll Durchmesser. Es ist ein servobasierter Roboter mit integrierter Workstation und einer industriell gehärteten Architektur für zuverlässige Leistung und Wiederholbarkeit. Das Basissystem umfasst ein Mikroskop zur Sicht- und Bewegungsrückkopplung, eine integrierte Seheinheit zur Sensorausrichtung und Ausrichtungskontrolle, ein Armende-Werkzeug zur Handhabung des Wafers, eine einfache Benutzeroberfläche zur einfachen Bedienung und eine Reihe von I/O-Verbindungen zur Schnittstelle zu externen Systemen. Der Wafer-Handler ist für eine breite Palette von Betriebsparametern geeignet und kann mit einer Reihe von Endeffektoren, Kameras und Steuerelementen angepasst werden. Die flexible Architektur der Maschine ermöglicht den Einsatz mit einer Vielzahl von Wafergrößen und -dicken. Das Werkzeug kann eine breite Palette von Substraten handhaben, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und Quarz. Servomotoren werden verwendet, um den Wafer-Handhabungsroboter sowohl in einer X- als auch in einer Y-Achse zur präzisen Positionierung zu bewegen. Ein programmierbarer Bewegungsregler steuert die Bewegung, um eine genaue und wiederholbare Bewegung über den gesamten Bewegungsbereich zu gewährleisten. Der Wafer Handling Roboter kann für komplexe Bewegungen wie Rotation, Beschleunigung/Verzögerung, Rucksteuerung und Spielausgleich programmiert werden. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Sensoren und Vision-Systemen ausgestattet, um Wafer auf dem Bett genau zu identifizieren und zu lokalisieren. Ein Array von Lichtstrahlern kann verwendet werden, um verschiedene Arten von Wafermaterialien und Formen zu erkennen. Das integrierte Vision-Modell kann zum Zentrieren und Ausrichten des Wafers am Armende-Werkzeug verwendet werden. Die Ausrüstung kann auch eingerichtet werden, um kleinflächige Unvollkommenheiten zu erkennen sowie auf Chip- oder Kantenschäden zu überprüfen. BROOKS ATM-107B-2-S-CE Wafer Handler ist aufgrund seiner hohen Genauigkeit und Zuverlässigkeit gut für den Einsatz in der Halbleiter-, Automobil- und Medizintechnik-Industrie geeignet. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen, Materialien und Dicken mit wiederholbaren Ergebnissen zu handhaben. Dank seiner Flexibilität, der intuitiven Benutzeroberfläche und der Vielzahl an E/A-Verbindungen eignet es sich für die Integration in eine Vielzahl von Anwendungen. Darüber hinaus ist das Gerät durch seine langlebige Konstruktion und seine robuste Konstruktion für den Einsatz in Umgebungen mit rauen Bedingungen geeignet. Infolgedessen ist diese Maschine eine gute Wahl für jede Organisation, die nach einem zuverlässigen und genauen Wafer-Handler sucht.
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