Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211142 zu verkaufen

ID: 9211142
Weinlese: 1999
Robot Part number: 6-0000-0664-PC 1999 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1 Wafer Handler ist ein gut konzipiertes und zuverlässiges Automatisierungsgerät für die Arbeit mit dünnen und empfindlichen Wafern, wie sie in der Halbleiterherstellung verwendet werden. BROOKS ATM-305-1 ist ein zweiachsiger Wafer-Handler mit Luftlagern auf der X- und Y-Achse. Dies bietet eine hervorragende reibungsarme Bewegung und eine hervorragende Positionsgenauigkeit, sodass Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll und einem Gesamtfehler von maximal 50 Mikrometern behandelt werden können. PRI AUTOMATION ATM-305-1 ist mit einem dreiachsigen optischen Detektionssystem zur präzisen positionsgenauen Einstellung des Wafers ausgestattet. Sobald der Wafer genau ausgerichtet ist, kann der Handler ihn mit kurzen, hochgenauen Schritten bewegen, um sicherzustellen, dass jeder Wafer während der Handhabung genau positioniert wird. Dies ist besonders nützlich für die Arbeit mit ultradünnen Wafern, da eine genaue Positionierung für die Arbeit mit diesen empfindlichen Materialien entscheidend ist. ATM-305-1 ist auch mit einer Reihe von Antriebsmotoren ausgestattet, darunter zwei sehr drehmomentstarke Schrittmotoren, die eine stabile, wiederholbare Kraft bieten, die es ermöglicht, Wafer sicher und genau zu bewegen. Es gibt auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Steuerungssensoren, redundante Sicherheiten und optionales ionisiertes Luftabblasen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer sicher und sicher gehandhabt wird und die Gefahr von Waferschäden reduziert. Darüber hinaus bietet BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1 eine Reihe von Wartungs- und Supportfunktionen. Dazu gehört auch die Ferndiagnose und -steuerung, die es dem Bediener ermöglicht, den Zustand des Handlers von einem PC oder Mobilgerät aus zu überprüfen. Darüber hinaus bietet das System auch eine Reihe von Ersatzteilen und Komponenten, so dass Bediener ihre eigenen Reparaturen und Austausch durchführen können. Insgesamt ist BROOKS ATM-305-1 Wafer Handler eine ausgezeichnete Wahl für die Arbeit mit empfindlichen Wafern, dank seiner hochgenauen und zuverlässigen Bewegungssteuerung, Sicherheitsfunktionen sowie Wartungs- und Supportfunktionen. Mit diesem System kann ein zuverlässiger und präziser Produktionsprozess erreicht werden, der sicherstellt, dass jeder Wafer mit minimalen Fehlern oder Beschädigungen bearbeitet wird.
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