Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler ist ein leistungsstarkes, branchenführendes automatisiertes Transportmodul für die präzise und präzise Handhabung von Wafern in Anwendungen, die eine extreme Temperaturstabilität erfordern. Der Wafer-Handler ist für Wafergrößen von 200mm bis 200 mm ausgelegt und kann für verschiedene Waferdurchmesser und -höhen eingestellt werden. Die Einheit ist in der Lage, einen direkten Weg von der Quelle zum Prozesswerkzeug bereitzustellen, mit einem Tray-Indexiermechanismus zur verbesserten Steuerung des Wafers. Die Einheit umfasst auch ein ergonomisches Design mit einer verstellbaren Öffnung zum Be- und Entladen von Wafern. BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler kann sowohl im vertikalen als auch im horizontalen Modus laufen und bietet eine optimale Kompatibilität mit einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen. Das Gerät verfügt zudem über die Active Stacking Technology für optimiertes Wafermanagement bei Serienreihen. Dies ermöglicht es dem Wafer-Handler, Zykluszeiten zu reduzieren und die Produktionsfähigkeit zu verbessern, ohne die Integrität des Wafers zu beeinträchtigen. PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE ist darauf ausgelegt, die Kammertemperatur bei ± 1 ° C oder besser zu halten und bietet extrem stabile Bedingungen während der Waferbearbeitung. Das Gerät verfügt über eine erweiterte Steuerungsarchitektur, die programmiert werden kann, um spezifische Wafer-Handhabungsanforderungen zu erfüllen. Dies geschieht durch leicht einstellbare Prozessparameter, beispielsweise Wafergeschwindigkeit, Zeitverzögerungen und bis zu 16 gesamte konfigurierbare Rezepte. Auf diese Weise können Wafer-Handler exakt programmiert werden, um kundenspezifische Produktionsanforderungen zu erfüllen, von Validierungsläufen bis hin zu High-Through-Put-Produktionsläufen. ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler umfasst auch Front-End-Überwachungs- und Diagnosefunktionen wie integrierte Alarme, Fehlercodes und Datenprotokollierung. Dies trägt dazu bei, eine konsistente Waferintegrität sowie eine verbesserte Verfügbarkeit und vereinfachte Wartung zu gewährleisten. Die Einheit verfügt auch über eine hohe Genauigkeit in der Wafer-Zentrierung und Entladung, so dass wiederholbare Prozessausbeute. Insgesamt ist BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler ein zuverlässiges und robustes Wafer Handling-Modul, das eine präzise und präzise Handhabung von Wafern in Prozesswerkzeugen mit extremer Temperaturstabilität ermöglicht. Die einstellbare Breite, Höhe und Rotation des Geräts stellen sicher, dass es mit einer Vielzahl von Wafergrößen kompatibel ist, während seine einstellbaren Prozessparameter es Kunden ermöglichen, es auf ihre eigenen spezifischen Produktionsanforderungen abzustimmen. Die fortschrittliche Steuerungsarchitektur, die integrierte Überwachung und Diagnose sowie die Zentrier- und Ladefunktionen mit hoher Genauigkeit machen BROOKS ATM-407B-2-S-CE zu einer ausgezeichneten Wahl für moderne Prozessanwendungen.