Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATM #9263033 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM ist ein automatisierter Wafer-Handler für Halbleiter-Wafer-Fertigungsanwendungen. Es ist eine vielseitige Roboterausrüstung, mit der Wafer schnell und präzise abgeholt, transportiert und platziert werden können. Das System basiert auf einem industriellen Manipulatorarm und nutzt eine Reihe integrierter Sensoren, um die Wafer zu identifizieren und zu verfolgen. Der ARM besteht aus einer Reihe von gelenkigen Armen und Aktoren, die die vertikale, horizontale und Drehbewegung bieten, die für präzise Wafer-Handhabungsaufgaben erforderlich ist. Der Manipulator ist auf einem horizontal verstellbaren Höhenboden für einfachen Zugang und Platzierung montiert. Der Arm wird von einer Allen-Bradley powerFlex-Antriebseinheit mit Servomotoren mit hohem Drehmoment angetrieben, um eine reibungslose und präzise Bewegung zu ermöglichen. BROOKS ATM enthält auch eine Präzisions-Vision-Maschine in den Roboterarm integriert, um Echtzeit-Erkennung und Position von Wafern bieten. Dieses Tool kann Waferkanten und Orientierung erkennen, um eine genaue Aufnahme und Platzierung zu ermöglichen, ohne dass manuell Koordinaten festgelegt werden müssen. Um die Platzierungsgenauigkeit des Wafers zu verbessern und die Werkzeugkosten zu senken, verfügt das Asset auch über eine fortschrittliche Kraft-Feedback-Technologie, die die Kontaktkraft des Wafers während der Übertragung auf das Werkzeug misst. Dadurch wird sichergestellt, dass die Empfindlichkeit jedes Wafers beim Aufsetzen auf das Werkzeug vom Roboter berücksichtigt wird. Neben der halbautomatischen Wafer-Handhabung ist das Modell auch mit automatisierten Prozesswerkzeugen und Prozesssteuerungssoftware ausgestattet. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessschritten wie Sputtern, Diffusion, Ätzen und Ausdünnen durchzuführen. Die Software kann auch verwendet werden, um Daten im Zusammenhang mit der Waferverarbeitung aufzuzeichnen und Batch-Berichte mit voller Rückverfolgbarkeit zu erstellen. PRI AUTOMATION ATM ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Herstellung von großvolumigen Wafern. Es ist für die Fabrikintegration konzipiert und kann entsprechend einer Vielzahl von Kundenbedürfnissen programmiert werden. Es ist robust, zuverlässig und äußerst zuverlässig und bietet eine kostengünstige Lösung für automatisiertes Wafer-Handling.