Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9286633 zu verkaufen

ID: 9286633
Robot P/N: 002-7090-05 Blade and arm included.
BROOKS/PRI BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7 Automatic Transfer Robot (ATR) ist ein vollautomatischer Wafer-Handler für den Einsatz in Halbleiterverarbeitungssystemen. Es basiert auf PRI AUTOMATION proprietärer Servobewegungstechnologie und ist für die Schnittstelle mit einer Vielzahl von OEM-Verarbeitungssystemen konzipiert. BROOKS ATR-7 ist in der Lage, Wafer von einer Ausrüstung zur nächsten zu transferieren, ohne menschliches Eingreifen. PRI AUTOMATION ATR-7 ist eine kompakte und leichte Maschine, die nur 30 Zoll groß und 17 Zoll breit ist. Sein Großrechner besteht aus Aluminium- und Edelstahlkomponenten in Flugzeugqualität und seine Abdeckung aus korrosionsbeständigem Aluminium. Alle Teile des Systems sind auf einem einzigen Basismodul für einfache Installation und Portabilität montiert. ATR-7 ist mit zwei Waferschalen ausgestattet, die jeweils maximal acht 200 mm Wafer aufnehmen können. Die Schalen werden mit den Wafern beladen und dann auf ein Gitter gelegt, wobei die obere Schale mit einem Antriebskabel verbunden ist. Das Gitter wird von einem Gleichstrommotor mit geringer Trägheit angetrieben, und die Bewegung der Einheit kann mit Leichtigkeit gesteuert werden. BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7 ist auch aufgrund seines fortschrittlichen Designs und seiner hochwertigen Komponenten sehr zuverlässig. Es enthält eine Dual-Sensor-Maschine, die den Betrieb überwacht und das Werkzeug stoppt, wenn ein Fehler erkannt wird. Es verfügt auch über eine integrierte Gasversorgungsanlage, um den Gasfluss zu den Wafern für einen konsistenten, wiederholbaren Prozess zu steuern. BROOKS ATR-7 ist auf Flexibilität ausgelegt und verfügt über mehrere Funktionen, die den Anschluss an eine Vielzahl von Verarbeitungssystemen ermöglichen. Seine Kommunikationsanschlüsse können direkt an mehrere beliebte Modellmodelle sowie an einen PC oder Controller angeschlossen werden. Mit PRI AUTOMATION ATR-7 können auch Steuerparameter, Koordinateneinstellungen und verschiedene Ausgabebefehle direkt in die Maschine programmiert werden. Neben seinen beeindruckenden Features ist BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI ATR-7 einfach zu bedienen und verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche. Es kann einfach an bestehende Wafer-Verarbeitungssysteme angeschlossen werden und dank seiner intuitiven Benutzeroberfläche kann der Bediener schnell den Umgang mit der Maschine lernen. Mit seiner Zuverlässigkeit, Flexibilität und benutzerfreundlichem Design ist BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7 eine ausgezeichnete Wahl für jedes Labor oder industrielle Umfeld, in dem ein automatisiertes Wafer-Handling erforderlich ist.
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