Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-S Wafer Handler ist ein hochentwickeltes Roboterautomatisierungssystem, das entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben zu bewegen, zu manipulieren und zu inspizieren. Es wird in Präzisionsprozessen in Reinraumumgebungen eingesetzt. BROOKS/PRI Handler ist ein modulares System, das an individuelle Prozessanforderungen angepasst werden kann. Es besteht aus einem Mainboard, mehreren transportablen Waferkassetten, einem Wafer-Shuttle und einer Inspektions- und Detektionsstation. Das Mainframe besteht aus einem Basisrahmen, einer Bedienerschnittstelle, einer Stromversorgung, pneumatisch betätigten Bewegungskomponenten und Servomotorantrieben. Die transportablen Waferkassetten bieten ein automatisiertes Mittel zum Transport der Wafer von einer Prozessstation zur anderen. Sie ermöglichen ein schnelles, genaues und wiederholbares Be- und Entladen von Wafern in den Großrechner. Sie sind auch mit einem Barcode-Leser für verbesserte Datenintegrität ausgestattet. Der Wafer-Shuttle ermöglicht den Transport von Wafern von einer Prozessstation zur anderen innerhalb des Großrechners. Das Shuttle ist pneumatisch angetrieben und kann für beliebig viele Wafer individuell konfiguriert werden. Es ist für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit minimaler Vibration konzipiert und gewährleistet ein hochwertiges Wafer-Handling. Die Inspektions- und Erkennungsstation dient zur Erkennung und Messung von Defekten der Wafer. Es ist mit fortschrittlichen Bildgebungs- und Lichtsensoren ausgestattet, die eine genaue Messung der Wafer ermöglichen. Die Sensoren können Waferdefekte genau erkennen und Unregelmäßigkeiten oder Verschmutzungen feststellen. BROOKS ATM 407-1-S Wafer-Handler ist ein hochentwickeltes, anpassbares Roboterautomatisierungssystem, das eine hochpräzise Wafer-Handhabung und -Inspektion bietet, die in der Lage ist, die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen in modernen Reinraumumgebungen zu erfüllen. Mit modularem Aufbau, vielseitigen Anwendungen und robuster Konstruktion ist es eine ideale Automatisierungslösung für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse.