Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION Ergo #128314 zu verkaufen

ID: 128314
Wafergröße: 8"
Loadports, 8", p/n 002-8700-02.
BROOKS/PRI AUTOMATION Ergo Wafer Handler ist eine hochmoderne halbautomatische Waferbearbeitungslösung, die für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Es ist eine voll programmierbare Roboterausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Wafer-Handhabungsoperationen wie Transport, Pre-Aligning und Be-/Entladen von Wafern auf Verarbeitungseinrichtungen durchzuführen. BROOKS Ergo wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit bei gleichzeitiger Erzielung einer effektiven Zykluszeit zu gewährleisten. Das System ist mit einer Reihe von einstellbaren Komponenten ausgestattet, die je nach Kundenwunsch konfiguriert werden können und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm aufnehmen können. PRI AUTOMATION Ergo Wafer Handler verwendet einen robusten und zuverlässigen servogesteuerten Roboterarm, der von BROOKS fortschrittlichen Bewegungsreglern angetrieben wird. Die Bewegungen des Roboters werden durch eine integrierte Sichteinheit überwacht, und die programmierbaren Sensoren der Maschine verfolgen die Orientierung des Roboters und die genaue Positionierung. Ergo Wafer Handler wurde entwickelt, um falsche Picks und Rejects zu minimieren und bietet eine höhere Genauigkeit im Vergleich zum manuellen Be-/Entladen. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein schlankes Design, das für Reinigung und Wartung leicht zugänglich ist, während es aufgrund seiner geringen Platzverhältnisse auch in räumlich begrenztesten Umgebungen installiert werden kann. BROOKS/PRI AUTOMATION Ergo Wafer Handler wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu liefern. Seine Bewegungsregler sind in der Lage, kontinuierlich hohe Genauigkeit während der Zyklen zu halten und eine höhere Vorhersagbarkeit der wiederholbaren Leistung zu gewährleisten. Die Anlage ist mit fortschrittlichen Programmier- und Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die es ihm ermöglichen, eine breite Palette von Wafer-Handhabungsszenarien zu bewältigen, während ihr robuster und zuverlässiger Antriebsstrang hilft, Ausfallzeiten während ihrer gesamten Lebensdauer zu minimieren. Darüber hinaus bietet BROOKS Ergo Wafer Handler verbesserte Sicherheitsfunktionen für Betreiber. Sein zweistufiges Sicherheitsüberwachungsmodell wurde entwickelt, um potenzielle Probleme und Alarmoperatoren zu erkennen, während seine gelenkigen Waferspannfutter und die robusten Feederarme darauf ausgelegt sind, potenzielle Verletzungen zu mindern. PRI AUTOMATION Ergo Wafer Handler umfasst mehrere Kommunikationsprotokolle, die die Integration in bestehende Prozesslinien erleichtern, während sein modularer Aufbau zukünftige Upgrades und Anpassungen ermöglicht. Ergo Wafer Handler ist die perfekte Lösung für Ihre Anforderungen an die Halbleiterproduktion. Mit seiner unschlagbaren Kombination aus Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Sicherheit ist es sicher, den Ertrag Ihrer Produktionsprozesse zu maximieren.
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