Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 #9256427 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 ist ein automatisiertes Wafer-Handling für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm sowie Substrate mit einer Dicke von bis zu 25 mm zu handhaben. Es ist für Full Open Top Frame (OTF) halbautomatische Material-in/Material-Out (MIMO) -Systeme mit SMIF-Belastungsmöglichkeiten konzipiert. BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293 ermöglicht einen effizienten und präzisen Wafertransport, bietet eine höhere Effizienz gegenüber manuellen Handhabungsverfahren für Wafer sowie eine schnellere und automatisiertere Bewegungsmöglichkeit für Wafer innerhalb oder außerhalb des Lastports. PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 ist mit Wafer-Handling-Robotik, einer motorisierten Bühne sowie gemeinsamen Steuerungs-, Bewegungs- und Softwareelementen ausgestattet. Die Wafer-Handling-Robotik wurde entwickelt, um eine sichere und zuverlässige Lieferung, Lagerung und Abruf von Wafern zu ermöglichen. Es wird durch ein Touch-Panel für einfache Bedienung und Wartung gesteuert, während die notwendigen Wafer zum und vom Ladeport zur Verfügung gestellt werden. Die motorisierte Stufe verwendet integrierte Bewegungssteuerelemente, die hochgenaue Be- und Entladebewegungen ermöglichen. Die Stufe nutzt auch eine Loadport-Anschlussschnittstelle, die eine effiziente Übertragung von Wafern in und aus dem Behälter ermöglicht. ESC-204T-OTF-SMIF-S293 umfasst auch einen SORDIN-Controller, der es ermöglicht, das System vollautomatisch zu gestalten und die datengesteuerte Waferbehandlung schnell zu verfolgen. Neben den Robotik- und Staging-Komponenten enthält BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 auch Softwareelemente wie das SORDIN-Steuergerät sowie eine Automatisierungsschnittstelle zum Be- und Entladen von Wafern. Diese Automatisierungsschnittstelle ist RS-232 und bietet ein komfortables Kommunikationsmittel bei der Schnittstelle mit der externen Lastportmaschine. BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293 bietet fortschrittliche Vielseitigkeit für halbautomatische MIMO-Systeme, die eine effiziente Handhabung von Wafern mit erhöhter Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglichen. Der Einsatz von Robotik, Bewegungssteuerelementen und Softwareelementen macht es zu einer idealen Wahl für Präzisions-Wafer-Handling, insbesondere in der Halbleiterindustrie.