Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064560 zu verkaufen

BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293
ID: 9064560
AXM Controllers.
BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 Wafer-Handler ist eine fortschrittliche Automatisierungslösung für die hochpräzise Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz. Es wurde entworfen, um mit einer Vielzahl von neueren Roboter-und Computer-Vision-Systeme Schnittstelle, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene industrielle und kommerzielle Operationen. BROOKS ESC-204T-S293 ist eine hochpräzise, Halbleiterverarbeitungsanlage, die für die Bearbeitung von bis zu sechs Wafern gleichzeitig ausgelegt ist und bis zu 24 einzelne Substratpositionen verwaltet. Es verfügt über ein vollständig geschlossenes, transportables System, das Wafer automatisch aus einer stationären Quelle be- und entladen kann. Dadurch entfällt die manuelle Handhabung für mehr Zuverlässigkeit und Genauigkeit. PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 ist mit einer 2-Achsen-Stufe ausgestattet, um die genaue Ausrichtung der Wafer zu erleichtern. Es verfügt über dual-servo angetriebene X- und Y-Achsen, die außergewöhnliche Geschwindigkeiten, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei hoher Zuverlässigkeit bieten. Die fortschrittlichen Bewegungssteuerungsalgorithmen in diesem Gerät gewährleisten einen schnellen, genauen und wartungsarmen Betrieb. ESC-204T-S293 wird beschrieben mit einem hochpräzisen, schleifenbasierten Controller und einem 24-positionierten, parallel greifenden Lastport, der eine intelligente Steuerung des Prozesses ermöglicht. Der digitale Drehmomentsensor liefert eine genaue Rückmeldung über die Kraft der Stufe und ermöglicht eine präzise Steuerung der Position und Geschwindigkeit des Wafers. Darüber hinaus kommt es mit Innovationen wie einer einstellbaren Totzeit für Beschleunigung und Verzögerung, und dynamische Ein-Punkt-Konvergenz. BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 ist auch mit einer breiten Palette von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die zum Schutz von Personal und Ausrüstung entwickelt wurden. Dazu gehören ein passiver Waferauswerfer, ein Temperatursensor und eine Warneinheit sowie eine Alarm- und Statusanzeige. Es enthält auch mehrere Daten-Ports für die Verbindung von Peripheriegeräten. Für erhöhte Haltbarkeit und einfache Bedienung enthält BROOKS ESC-204T-S293 einen hochleistungsfähigen, gehärteten Chromlaser zur Prozessüberprüfung. Dies ermöglicht eine zuverlässige Waferverfolgung und Kalibrierung. Die fortschrittliche Steuerungstechnologie minimiert zudem Ausfallzeiten und sorgt für eine minimale Wartung über lange Einsatzzeiten. Zusammenfassend ist PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 Wafer Handler eine äußerst zuverlässige und effiziente Maschine mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit. Sein innovatives Design in Verbindung mit seinen vielfältigen Sicherheitsmerkmalen macht es zu einer idealen Wahl für den fortschrittlichen industriellen und kommerziellen Betrieb.
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