Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212 Wafer Handler ist ein vollautomatisiertes Wafer Handhabungssystem zur Ablage und Verarbeitung von Halbleitern. Der Wafer-Handler kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll handhaben und umfasst eine Vielzahl von Komponenten wie Wafer-Decks, Prozessmodule, Wafer-Lift-Module und Transportmodule. Die Waferdecks können Wafer zwischen Decks transportieren und sind auch in der Lage, Wafer in einzelne Stücke zu vereinzeln, was einen größeren Flächenkontakt mit dem Substrat ermöglicht. Die Prozessmodule ermöglichen die Automatisierung einer Vielzahl von Prozessen, wie chemische Aufdampfung, Sputtern, CMP und Lithographie, und sind darauf ausgelegt, den Durchsatz zu maximieren und die Prozesskosten minimal zu halten. Die Wafer-Lift-Module erleichtern den Wafer-Transfer von den Transfermodulen zu den Prozessmodulen und können auch Wafer-Frames clippen, um Beschädigungen an zerbrechlichen Wafern während der Übertragung zu verhindern. Die Transportmodule bieten die notwendige Bewegungssteuerung für den Waferübergang zwischen Decks und von den Waferdecks auf die Waferliftmodule. Der Wafer-Handler umfasst auch Sicherheitsverriegelungen, um zu verhindern, dass unbefugtes Personal auf das Innere des Wafer-Handlers zugreift, und Diagnosesoftware zur Überprüfung des Maschinenstatus und zur Fehlerortung. Darüber hinaus verfügt das System über ein energieeffizientes Design und verfügt über eine Balance-Technologie, um den Energieverbrauch zu reduzieren. Insgesamt ist der BROOKS ESC 212 Wafer Handler ein effektives und zuverlässiges Werkzeug für hochvolumige Halbleiterverarbeitungsvorgänge.