Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #128309 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express ist eine hochwertige automatisierte Wafer-Handler-Ausrüstung zur Erhöhung des Produktionsdurchsatzes für photolithographische Prozesse in der Halbleiterherstellung. BROOKS FAB Express ist ein mehrachsiger Roboterarm, der Acht-Zoll-Wafer mit einer horizontalen und vertikalen Genauigkeit von 13,7 Mikrometern transportiert und positioniert. Es hat eine statische Positionsgenauigkeit von ± 7,9 Mikrometer und kann mit Wafern umgehen, die auf und ab von Kassettendocks dicht verpackt sind. PRI AUTOMATION FAB Express verfügt über einen eigenen zweiachsigen Endeffektor mit einer Einstellzeit von 17 Mikrosekunden beim Aufnehmen oder Abstellen von Wafern. Das System verfügt über einen integrierten Hochgeschwindigkeitsbus, der ihn mit einem photolithographischen Stepper, seinem Host-Computer und anderen Maschinenelementen verbindet. FAB Express kann bis zu 5000 verschiedene Positionen auf seinem Bus speichern und diese Bewegungen bis zu 200 Mal pro Sekunde ausführen. Es verfügt auch über ein abnehmbares Bedienfeld, in dem Benutzer manuell Befehle oder neue Wafer-Koordinaten eingeben können. Darüber hinaus verfügt BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express über Kollisions- und Produkterkennungsfunktionen, eine integrierte Vision-Einheit, die Bilder und Feedback zu Wafern im Transit erfasst, und einen Barcode-Leser zur Erkennung und Handhabung jeder Kassette. BROOKS FAB Express hat eine maximale Transportgeschwindigkeit von 3,0 m/s und eine maximale Beschleunigung von 5,0 G. Es ist auch modular aufgebaut, wodurch seine Komponenten getrennt und direkt an eine Steuerungsmaschine angeschlossen werden können. Dies sorgt für eine höhere Effizienz, da Programme und Pfade nicht neu geladen und die Installation und Fehlerbehebung vereinfacht werden müssen. PRI AUTOMATION FAB Express ist auch mit Sicherheitssystemen ausgestattet. Neben der Konzipierung zur Erfüllung der OSHA-Anforderungen entspricht das Asset auch den europäischen Standards ENORM 14971 und CE/UL-Sicherheitsstandards. Damit ist FAB Express sicher für Arbeitnehmer und Umwelt. Insgesamt ist BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express ein vollautomatisches Wafer-Handler-Modell, das speziell entwickelt wurde, um den Produktionsdurchsatz und die Effizienz im photolithographischen Halbleiterprozess zu erhöhen. Diese Ausrüstung ist zuverlässig, effizient und vielseitig. BROOKS FAB Express erfüllt auch die höchsten Sicherheitsanforderungen und verfügt über flexible Funktionen, die den Anforderungen jeder Fertigungsanlage entsprechen.