Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION Fixload 25 #9392799 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25 ist ein High-End, vollautomatischer Wafer Handler. Es beinhaltet Hochgeschwindigkeits-Robotik-Technologie, um die schnelle und genaue Beladung von Silizium-Wafern auf Reaktoren, Öfen und andere waferbezogene Geräte wie Ätz- und Abscheidekammern zu ermöglichen und gleichzeitig das Risiko von Beschädigungen zu minimieren. BROOKS Fixload 25 ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen, Formen und Materialien schnell und präzise zu übertragen und zu laden, mit bis zu 30 Wafern/Prozess, die jede Stunde gebildet und geladen werden. Es verfügt über zwei Ladekontaktpunkte und drei Wafer-Positionsprüfverfahren: über Kamera, Lichtabtastung und mechanische Kontaktabtastung. Darüber hinaus kompensiert das Gerät automatisch jede Bewegung, die durch Waferschwankungen oder Fehlausrichtungen verursacht wird, und verhindert Schäden an den Wafern. PRI AUTOMATION Fixload 25 enthält eine eigene Vision-System-Kamera, die hochauflösende Bildgebung verwendet, um Wafer Position, Größe und Form genau zu erkennen und zu überprüfen. Dadurch entfällt der manuelle Eingriff und eine hohe Zuverlässigkeit in Bezug auf die Positioniergenauigkeit des Wafers. Die Vision-Einheit ist auch in der Lage, verbesserte Wafer Oberflächeninspektion Funktionalität, einschließlich Partikeldefektdetektion zur Verfügung zu stellen. Die Fixload 25 verfügt zudem über eine mehrphasige, modulare Robotik-Plattform. Dies ermöglicht eine hochflexible Arbeitsumgebung, die eine schnelle Produktumstellung und Änderungen der Maschinenkonfiguration ermöglicht. Die Maschine verfügt außerdem über eine benutzerfreundliche Oberfläche und einfache Punkt-und-Klick-Befehle für eine schnelle und einfache Ausführung von Laderoutinen. Das Tool verfügt über eine integrierte LoadCell Weight Measurement Asset, die Wafergewichtsmessungen und die Verhinderung von möglichen Waferschäden durch Überstapeln ermöglicht. Dieses Modell bietet auch Echtzeit-Steuerung und Rückkopplung auf Wafer Belastung Kraft und Position, so dass die Optimierung der Prozessparameter. BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25 ist für den industriellen Einsatz konzipiert und CE-zertifiziert für die Integration in bestehende Produktionslinien. Dies macht es zu einer idealen Lösung für großvolumige Wafer-Ladeaufgaben, die eine erhöhte Produktivität und geringere Kosten ermöglichen.