Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #121470 zu verkaufen

ID: 121470
Vacuum robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 ist ein einziger Wafer-Handler, der für den Einsatz in der Waferhandhabung geschaffen wurde, wie das Be- und Entladen von Wafern aus einer Prozesskammer, das Übertragen von Wafern zu und von Inspektionssystemen und das Übertragen von Waferrahmen zwischen verschiedenen Werkzeugmodulen. BROOKS MTR 5 ist ein roboterbasiertes System, das sich auf eine Reihe von motorisierten Stufen stützt und es ermöglicht, sich augenblicklich, ähnlich wie ein menschlicher Arm, zu bewegen, um seine beabsichtigten Funktionen auszuführen. Durch seine mehrachsige Bewegung eignet er sich besonders gut für die Durchführung mehrerer Operationen in einem flexibel definierten Raum. Es verwendet mehrere Spitzentechnologien wie Linearantriebe und eine Vielzahl von Sensoren, um eine genaue und zuverlässige Bewegung zu gewährleisten. Seine Bewegungsregler ermöglichen auch einen dynamischen, zuverlässigen Betrieb. PRI AUTOMATION MTR5 ist so konzipiert, dass sie mit einer Vielzahl von Waferrahmen kompatibel ist und bis zu fünf verschiedene Kassettengrößen für schnelles Sortieren, Laden und Entladen von Wafern verarbeiten kann. Aufgrund des modularen Aufbaus können bei Bedarf verschiedene Funktionalitäten hinzugefügt oder entfernt werden. Dazu gehören Hot-Swap-Kassetten, mehrere Stationen, Autostage-Funktionen und Zwei-Greifer-Operationen. Die Benutzeroberfläche macht MTR 5 besonders einfach zu bedienen, so dass Benutzer verschiedene Operationen und Sequenzen mit unterschiedlichen Steuerungsstufen einrichten können. Benutzerdefinierte Sequenzen können auch programmiert werden, wodurch der Benutzer mehr Kontrolle darüber erhält, wie bestimmte Operationen ausgeführt werden. Der Controller des Roboters ermöglicht es Benutzern auch, die Geschwindigkeit und Beschleunigung seiner Bewegungen zu konfigurieren, und umfasst eine Reihe von Überwachungs- und Fehlerbehebungswerkzeugen, die verwendet werden können, um Probleme mit Wafer-Handhabungsoperationen schnell zu erkennen und zu lösen. MTR5 verfügt über eine Reihe zusätzlicher Funktionen, die eine sichere und zuverlässige Handhabung von Wafern gewährleisten. Dazu gehören Luftpartikelkontrolle, Schnellabschaltbetreiber und -steuerung, E-Stop-Sensoren und eingebaute Kollisionsdetektion. Das System bietet auch eine Werkzeugsicherheitsüberwachung, die erkennen kann, wenn ein Werkzeug beschädigt wird oder sich am Ende seiner Lebensdauer befindet. Insgesamt ist BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 ein fortschrittlicher, zuverlässiger Wafer-Handler, der die Handhabung und den Transfer von Wafern vereinfacht. Der modulare Aufbau, die benutzerfreundliche Oberfläche und das umfassende Sicherheitsüberwachungssystem sorgen dafür, dass es an eine Vielzahl von Produktionsanforderungen und Anwendungen angepasst werden kann.
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