Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 ist ein einzigartiger Wafer-Handler für hochpräzise Anwendungen, die eine garantierte Waferausrichtung, perfekten Vakuum-Halt und schnellen Wafer-Austausch erfordern. Es verfügt über eine voll integrierte 5-Achsen-Gimbal-Plattform und ist für die Schnittstelle mit Wafer-Messtechnik und optischen Systemen konzipiert. Diese Roboterausrüstung bietet Stufen- und Wiederholungsfähigkeit, Neigung und Erhöhung, mit einer breiten Palette von Konfigurationen für verschiedene Anwendungen. Es gewährleistet eine genaue und wiederholbare Platzierung jeder Art von Wafer und verwendet sowohl sein patentiertes Ausrichtungsprisma als auch sein 3-dimensionales Sehsystem. BROOKS MTR 5 Wafer Handler besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Roboter, einem Waferhalter und einer Vakuumkammer. Der Roboter ist so gebaut, dass er sowohl sehr wiederholbar als auch präzise ist und genaue Bewegungssteuerbewegungen ermöglicht. Seine maximale Geschwindigkeit beträgt bis zu 60 ° pro Sekunde, während seine Positionsgenauigkeit innerhalb von 40 µm liegt. Der Roboter ist mit einem breiten externen Zubehör wie ESD-Schutz, Pneumatik, optischen Sensoren und Umgebungssteuerungen ausgestattet. Die Vakuum Handling Unit (VHS) von PRI AUTOMATION MTR5 enthält eine motorisierte Zweizonen-Vakuumkammer zur Aufnahme und Ausrichtung. Die VHS ist in der Lage, eine präzise Drehung und Düsenausrichtung innerhalb eines Radius von 0,5 mm vom Wafer-Zentrum aus zu erreichen. Der Ansaugraum enthält mehrere für eine individuelle Wafergröße optimierte Düsen, um eine optimale Absaugung zu gewährleisten. Der Waferhalter, der den Wafer während des Transports hält, kann an jeden Anwendungsbedarf angepasst werden. Außerdem kann der Waferhalter für unterschiedliche Aufgaben schnell gewechselt werden. Schließlich kommt BROOKS MTR5 mit einem S6 Edge Controller, mit einer voll integrierten Antriebs-/Steuerungsmaschine, die Sequenzprogrammierung, HMI und Benutzeroberfläche sowie Online-Prozesssteuerung umfasst. Der benutzerfreundliche Touchscreen vereinfacht die Bedienung des Roboters erheblich und erleichtert eine reibungslose Bedienung und Prozesssteuerung.