Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 ist ein Wafer-Handler, der in Lithographie- und Dünnschichtabscheidungsprozessen eingesetzt wird. BROOKS MTR 5 ist ein Präzisionsinstrument, das eine genaue Positionierung und Übertragung von einzelnen oder mehreren Wafern ermöglicht. PRI AUTOMATION MTR5 kann Wafer bis zu 5 „im Durchmesser und 0,3“ in der Dicke handhaben, und es können bis zu drei Wafer auf einmal bearbeitet werden. PRI AUTOMATION MTR 5 ist auf einer Open-Frame-Architektur aufgebaut und verfügt über eine eingebettete Betriebsausrüstung. Das System besteht aus einer Steuereinheit, einer Eingangsschnittstelle, einem Low-Level-Steuermodul und einem Motortreiber. Jede dieser Komponenten ist so ausgelegt, dass sie miteinander interagieren und die notwendige Funktionalität für die Einheit bereitstellen. Die Steuerung ist für den Betrieb von BROOKS MTR5 verantwortlich. Es besteht aus einem vierachsigen Joystick-Controller, einem Wafer X- und Y-Tisch und einem Lenkrad. Die Eingänge des Reglers dienen zur Steuerung der Bewegung des Wafertisches. Die Eingabeschnittstelle ist eine Touchscreen-Schnittstelle mit Tastatur und Trackball. Dadurch kann der Anwender automatisierte Prozesse einrichten und Änderungen an den Parametern der Maschine vornehmen. Die Steuerung erhält auch Eingänge von dem Low-Level-Steuermodul, das für die Echtzeitsteuerung des Wafer-Handlers zuständig ist. Dieses Modul kann verwendet werden, um Parameter wie Wafergröße, Wafer Bewegungsgeschwindigkeit, Wafer Handhabung Spannkraft, Positionsgenauigkeit, Wafer Übertragungsgeschwindigkeit und Wafer Handhabung Zeitgenauigkeit zu spezifizieren. Der Motorantrieb ist das Endstück des Werkzeugs und die Einheit, die den Wafer tatsächlich bewegt und zur Bearbeitung positioniert. Sie besteht aus einem Schrittmotor, einem digitalen Achsregler und einem Antriebsriemen. Der digitale Achsregler ist für die Echtzeitsteuerung des Motors verantwortlich, während der Schrittmotor zur präzisen Positionierung und Bewegung des Wafers dient. Der Antriebsriemen ist dafür verantwortlich, den Wafer auf dem gewünschten Weg zu bewegen. MTR 5 ist ein leistungsfähiges Asset, das eine hochgenaue Positionierung und Übertragung von Wafern bietet. Es ist entworfen, um hohe Geschwindigkeit und genaue Waferübertragung über kurze Strecken zu ermöglichen, so dass es ideal für die Halbleiterproduktion. Das Modell ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu unterstützen und bietet die notwendigen Kontroll- und Sicherheitskontrollen, um sicherzustellen, dass die Wafer während der Produktion sicher gehandhabt werden. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 ist eine zuverlässige und effiziente Ausrüstung, die maximale Effizienz und Durchsatz in der Waferbearbeitung bietet.