Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 ist ein Roboter-Wafer-Handler, der es dem Benutzer ermöglicht, eine ganze Reihe von Wafer-Handhabungsoperationen durchzuführen. Der Handler eignet sich für Waferdurchmesser von 25mm bis 300mm und die Handhabbarkeit der Waferdicke von bis zu 10mm. Das Gerät verfügt über ein High-End CCD (Charge-Coupled Device) Vision System kombiniert mit einem Roboterarm, der eine präzise Ausrichtung und Positionierung von Wafern ermöglicht. Der Handler kann entweder mit einem PRI oder BROOKS Ambassador Front-End-Prozessor mit Optionen für zusätzliche Module integriert werden. Für Vorgänge, die eine erweiterte Mustererkennung erfordern, steht der Zusatz eines WAA-Moduls (Wafer Alignment Apparatus) zur Verfügung. Dieses Modul ist speziell für die Identifizierung, Überprüfung und Handhabung der verschiedenen Ausrichtmarken ausgelegt, die auf den meisten Wafern vorhanden sind. Förderbänder innerhalb der Vorrichtung bewegen Wafer innerhalb des Produktbereichs des Roboterhandhabers und positionieren Wafer wo immer erforderlich genau. Die Transporteinheit kann Geschwindigkeiten bis zu 600 mm/s erreichen und ermöglicht hohe Transfers in kurzer Zeit. Der Förderer hat auch eine antistatische Funktion, die die Wafer vor negativen elektrischen Einflüssen schützt. Der Handler verwendet eine einzige großformatige Kamera, die dem Endbenutzer ein detailliertes Bild bereitstellt. Dieses Bild dient zur Erkennung von Musterausrichtungsmarken oder zum Lesen von Barcodes. Dies spart wertvolle Zeit im manuellen Inspektionsprozess, da der Anwender die Wafer nicht mehr visuell inspizieren muss, um die Positionierung und Orientierung sicherzustellen. Die Steuerungsmaschine des Handlers besteht aus einer Beckhoff-SPS, umgeben von 4 Touchscreen-Monitoren. Die Benutzeroberfläche ist intuitiv und bietet dem Benutzer eine breite Palette von Parametern, um das Verhalten des Handlers anzupassen. Die Betriebsbedingungen können so eingestellt werden, dass Roboterbewegungen in maßgeschneiderten Grenzen bleiben. PROGRAMs können im Speicher gespeichert werden, so dass der Benutzer schnell auf Programme für gängige Wafer-Verarbeitungsvorgänge zugreifen und diese ausführen kann. Darüber hinaus kann BROOKS MTR 5 auch direkt mit einem Netzwerk aus anderen Geräten und Controllern verbunden werden, was einen schnellen Austausch und die Kommunikation zwischen dem Gerät und externen Quellen ermöglicht. Dies ermöglicht eine effiziente Datenweitergabe und Werkzeugüberwachung. Zusammen mit seinen leistungsstarken technischen Fähigkeiten lässt sich leicht erkennen, warum PRI AUTOMATION MTR5 als einer der führenden automatisierten Wafer-Handler gilt.