Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 Wafer Handler ist eine hochpräzise Ausrüstung in der Halbleiter-, Festplattenlaufwerk und anderen verwandten Branchen verwendet. Es wurde entwickelt, um Silizium-Wafer genau und schnell zwischen Prozesskammern zu bewegen und zu positionieren. Es verfügt über ein Inspektionsfenster, das es dem Bediener ermöglicht, die Ausrichtung des Wafers vor dem Eintritt in die Kammer zu überprüfen. BROOKS MTR 5 wird mit einem Multi-Touch-Controller betrieben, der ein 3D-Drehzifferblatt und eine kapazitive Touch-Slider-Steuerung enthält. Es umfasst zwei Präzisionslinearführungen und eine Vorausrichtung mit hoher Wiederholgenauigkeit und Positionsgenauigkeit. Diese Eigenschaften, gekoppelt mit dem automatisierten Bedienungssystem, ermöglichen es dem Gerät, den Wafer präzise und konsistent in die Prozesskammern zu bewegen, den Durchsatz zu erhöhen und Ausfallzeiten durch manuelle Handhabungsfehler zu vermeiden. PRI AUTOMATION MTR5 kann mit bis zu 32 verschiedenen Wafer-Ausrichtungshöhen und Aufnahmepunkten programmiert werden, was es extrem flexibel bei der Handhabung mehrerer Wafergrößen macht. Es hat einen maximalen Waferdurchmesser von 200 mm und eine Wafer-Plattformgröße von 305 mm. Der Wafer-Handler kann mit anderen Wafer-Prozesszubehör der MTR-Serie kombiniert werden, um eine hochfunktionale Wafer-Handhabungs- und Prozesswerkzeugeinheit zu schaffen. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 ist sowohl für den Wafertransport als auch für das Prozesshandling in einer Einheit konzipiert. Es umfasst einen Waferarm, einen mobilen Roboter und eine Maschinensteuerung, die alle zusammenwirken, um Wafer genau in die Prozesskammer abzulegen. Die Wafer-Aufnahme und Lieferung erfolgt über einen Lastanschluss und wird mit einem exzentrischen Verriegelungswerkzeug gesichert. PRI AUTOMATION MTR 5 ist mit einer programmierbaren Vakuumpumpe ausgestattet, die die Bearbeitungszeit durch bequemes Vorvakuumieren des Wafers vor dem Erreichen des Ladeanschlusses reduziert. Mit seinem einzigartigen Selbstschieber-Design bietet BROOKS MTR5 auch während der Wartung einen schnellen und einfachen Zugang zur Kammer. Um ein höheres Sicherheitsniveau zu gewährleisten, verfügt MTR5 über einen zentral angeordneten Sicherheitsschalter, der alle Roboter im Wafer-Handling stoppt. Diese zusätzliche Funktion erhöht die Produktivität und Prozessfähigkeit auf sichere und effiziente Weise. Dieser automatisierte bedienergestützte Roboter-Wafer-Handler ist so konzipiert, dass er einen störungsfreien Betrieb der Prozesskammer mit minimalem Bedieneinfluss ermöglicht.