Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION MX 600 #79344 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 79344
Wafer handler
(Qty 2) VCE6
MTR5 With Bismetric Armset
In-linger
(Qty 4) Gate Valve.
BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600 ist eine Wafer-Handling-Lösung, die speziell für ultra-saubere Produktionsanwendungen wie Halbleiterherstellung, Photolithographie und Luft- und Raumfahrtkomponenten entwickelt wurde. BROOKS MX 600 ist in der Lage, auch die empfindlichsten Wafer zu handhaben und bietet einen präzisen und sicheren Transport von Wafersubstraten auf möglichst saubere und effiziente Weise. PRI AUTOMATION MX 600 Wafer Handler wurde entwickelt, um eine hochkonsistente Transportlösung für Wafersubstrate bereitzustellen, die typischerweise bei der Herstellung und Photolithographie verwendet werden. Diese integrierte Ausrüstung wurde entwickelt, um Verschmutzungen zu reduzieren und gleichzeitig Bewegungs- und Ausrichtungsfehler während der Handhabung zu reduzieren. MX 600 wurde entwickelt, um eine hervorragende Wiederholgenauigkeit, Genauigkeit und Leistung zu bieten und ist somit eine ideale Lösung für Produktionsanwendungen, die auf Präzisionshandhabungsoperationen angewiesen sind. BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600 Wafer Handler besteht aus einer oberen und unteren Wafer-Transportstufe, einem oberen und unteren Transportstufengräber, einem oberen und unteren Transportarm, einer Druckplatte und einem Höhenverstellmechanismus. Es verfügt über ein vektorbasiertes Zuführsystem, das mit Wafersubstraten unterschiedlicher Größe umgehen und während der Transportphase Schlupf und Rattern drastisch reduzieren kann. BROOKS MX 600 verfügt auch über zwei unabhängige Hochgeschwindigkeits-Servoantriebe, die eine schnelle und präzise Handhabung ermöglichen, die Effizienz optimieren und Ausfallzeiten minimieren. Neben seinen starken mechanischen Eigenschaften bietet PRI AUTOMATION MX 600 auch mehrere integrierte elektronische Funktionen, die für Genauigkeit und Leistungsoptimierung sorgen. MX 600 verfügt über absolute Encoder, die die Übertragung präziser Ortsinformationen zwischen Antrieb und Transportarm ermöglichen. Dies ermöglicht die genaue Bestimmung der Position eines Wafers entlang der Transportebene. Weitere integrierte Funktionen umfassen automatische Wafer-Zentrierung, Wafer-Fehlererkennung und Integration mit BROOKS Vacuum Access Unit (VAS), um eine optimale Partikelkontrolle zu ermöglichen. BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600 ist für die Arbeit in ultra-sauberen Produktionsanwendungen optimiert. Alle exponierten Oberflächen wurden so konzipiert, dass sie eine maximale Partikelkontrolle ermöglichen und ihre mechanische Bewegung von der Umgebung isoliert wurde, um eine minimale Umweltbelastung während des Betriebs zu gewährleisten. BROOKS MX 600 ist in der Lage, Sechs-Achsen-Handling-Operationen durchzuführen, macht es sehr vielseitig und ermöglicht die Integration in verschiedene Produktionssysteme. Es ist auch CE und RoHS zertifiziert, um sicherzustellen, dass das Produkt alle geltenden Sicherheits- und Umweltvorschriften erfüllt. Insgesamt ist PRI AUTOMATION MX 600 Wafer Handler eine fortschrittliche Lösung für Wafer Handling in ultra-sauberen Produktionsanwendungen. Es ist in der Lage, präzise und konsistente Handhabungsleistung zu bieten und kann Verschmutzungen, Bewegungs- und Ausrichtungsfehler während der Transportphase deutlich reduzieren. MX 600 ist eine ideale Maschine für Produktionsprozesse, die auf den zuverlässigen Transfer zerbrechlicher Wafersubstrate angewiesen sind.
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