Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9121532 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6 ist eine leistungsstarke Wafer-Handhabung, die den gesamten Wafergrößenänderungsprozess vereinfacht und verbessert. Es bietet ein kompaktes Design, das minimalen Platzbedarf beansprucht und mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Werkzeugen ausgestattet ist. BROOKS VCE 6 System ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen konzipiert und kann 8 „-12“ Wafer oder 6 „-9“ Wafer aufnehmen und ist mit Waferreinigungs-, Rückseitenverarbeitungs- und Lithographiesystemen kompatibel. PRI AUTOMATION VCE-6 besteht aus einer Hauptbasisstation, einem 11-Positionsscheibentransporter und einer Aufzugseinheit. Die Hauptbasisstation ermöglicht es dem Benutzer, das Gerät schnell für verschiedene Wafergrößen und -orientierungen zu konfigurieren. Es beherbergt ein Bedienfeld und verfügt über ein Display für Bedienoberflächen und Anweisungen und enthält Ein- und Ausgänge für den Anschluss an andere automatisierte Geräte und Dienste. Transporter und Aufzugsaggregate sind miteinander verbunden, um dem Bediener zu ermöglichen, die Wafer automatisch auf den Lift zu bewegen, den Wafer zu greifen und auf die Scheibe zu legen. Die Hubanordnung ist sowohl für den vertikalen Transport als auch für die horizontale Wafer-Positionierung und Neigungswinkeleinstellung geeignet. Sie enthält ferner einen invertierten Motor zur Veränderung des Waferwinkels und einen Präzisionsmotor zur Steuerung der Waferbewegung. PRI AUTOMATION VCE 6 enthält auch zahlreiche fortschrittliche Sicherheitsfunktionen wie eine Stauschutzmaschine, die Staus innerhalb des Transporters erkennt, Sensoren innerhalb der Basisstation und Transporter, um potenzielle Kollisionen zu erkennen, einen automatischen Fallsensor für den Fall, dass ein Wafer versehentlich abfallen sollte und einen Innenluftvorhang, um äußeren Staub und Schmutz zu minimieren. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einem automatisierten Wafer-Sensing-Asset ausgestattet, das zur genauen Erkennung von Wafer-Positionen verwendet wird. VCE 6 ist intuitiv und benutzerfreundlich gestaltet. Es enthält eine einfach zu bedienende und intuitive grafische Benutzeroberfläche mit Touchscreen-Funktionen zur Anzeige von Waferkarten und zur Bereitstellung detaillierter Informationen zu jedem Wafer. Es umfasst auch integrierte Benutzerverwaltung und Passwortschutz sowie Werkstattintegration und Datenlogging-Funktionen. All diese Funktionen, kombiniert mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen, machen VCE-6 zu einer idealen Wahl für eine sichere und effiziente Halbleiterherstellung.