Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION ZBot #9162072 zu verkaufen
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BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot ist ein leistungsstarker, vollautomatischer Wafer-Handler. Es verfügt über eine einzige integrierte Plattform, die Entwicklungszeit und -aufwand reduziert und einen höheren Ausrüstungsdurchsatz bei gleichzeitiger Senkung der Materialkosten ermöglicht. Integriert in BROOKS ZBot ist ein voll computergesteuertes Wafer-Transportmodul, das Wafer präzise zwischen Stationen mit hochpräziser Roboterpositionierung und Vakuumaufnahme bewegt. Der Wafer-Handler kann an die Bedürfnisse des Endbenutzers angepasst werden, einschließlich der Möglichkeit, zusätzliche Schritte zum Verarbeitungsablauf hinzuzufügen. um den Bedürfnissen des Endbenutzers gerecht zu werden. Auf diese Weise kann der Benutzer vorhandene Verarbeitungs-Workflows erstellen oder ändern, um die Effizienz und Produktionserträge zu maximieren. PRI AUTOMATION ZBot ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen wie Waferreinigung, Ätzen, Abscheidung, Trocken- und Nassoxidation und Glühen durchzuführen. ZBot ermöglicht es Benutzern auch, die Vorteile der Open-Access-Automatisierung zu nutzen, was bedeutet, dass jeder Teil des Systems von einem anderen Standort aus ferngesteuert werden kann. Um eine genaue und konsistente Prozesskontrolle zu gewährleisten, ist BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot mit mehreren Sensoren und RFID-Tag-Identifikation ausgelegt. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Wafer innerhalb der Einheit entsprechend gehandhabt und ordnungsgemäß verfolgt wird. Die erweiterten Tracking-Funktionen ermöglichen es Benutzern auch, den Prozessverlauf zu überwachen und die individuellen Prozessparameter jedes Wafers für ein effizienteres Prozessmanagement zu speichern. BROOKS ZBot bietet zudem überlegene Zuverlässigkeit und Sicherheitsfunktionen. Seine geschlossene Robotermaschine ermöglicht eine präzise Echtzeit-Überwachung der Position jedes Wafers und beseitigt das Risiko menschlicher Fehler. Es enthält auch Sicherheitsprotokolle, um sicherzustellen, dass es keinen physischen Kontakt zwischen der Waferoberfläche und dem Roboterarm gibt, wodurch die Gefahr einer Kontamination verringert wird. Schließlich ist PRI AUTOMATION ZBot Tool für einfache Einrichtung, Installation, Schulung und Wartung konzipiert. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) vereinfacht die Bedienung, während die visuelle Programmierumgebung es Benutzern ermöglicht, Programmiersequenzen mit wenigen Mausklicks anzupassen. Es enthält auch eine Online-Hilfe für die Fehlerbehebung. Insgesamt ist ZBot ein leistungsstarker Wafer-Handler, der effiziente und zuverlässige Leistung bietet. Es wurde entwickelt, um Prozessabläufe zu optimieren, den Durchsatz zu maximieren und Komplexitäten zu reduzieren und gleichzeitig einen sicheren und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten.
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