Gebraucht BROOKS Techware 5 #9153587 zu verkaufen

BROOKS Techware 5
Hersteller
BROOKS
Modell
Techware 5
ID: 9153587
Express controllers P/N: 06-80010598-001, REV:C or D.
BROOKS Techware 5 ist ein fortschrittlicher automatischer Wafer-Handler mit den neuesten Fortschritten in Robotik, Mechanismen und Vision-Systemen. Techware 5 beinhaltet eine lineare Hochgeschwindigkeitsbewegung in einem kompakten, niedrigen Profil-Design, um das Be- und Entladen von Wafern in einem nahtlosen Betrieb zu ermöglichen. Der Wafer-Handler ist so konzipiert, dass er 200 und 300 mm Wafergrößen unterstützt und gleichzeitig die Größe Ihrer Prozesskammer für präzise Ausrichtung und thermische Integrität anpasst. Das integrierte Vision-System überprüft Flachheit und Sauberkeit des Wafers und verfolgt Wafer von Prozess zu Prozess, was eine einfache Bedienerverfolgung ermöglicht. Die fortschrittliche Präzision von BROOKS Techware 5 wird durch den Einsatz integrierter servogetriebener Linear- und Drehstufen mit geschlossener Rückkopplungssteuerung erreicht, um Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Diese hochgenaue Bewegung wird von einem integrierten Servoantriebssystem mit einem Multi-Core-Prozessor mit einer Geschwindigkeit von 2 Gbit/s angetrieben. Der Controller wird mit der neuesten Bewegungssteuerungssoftware mit integrierten Bewegungsoptimierungsalgorithmen programmiert, um die optimalen Traversengeschwindigkeiten zu ermitteln, was einen maximalen Durchsatz bei gleichzeitig hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Zusätzlich zu seiner präzisen Bewegungssteuerung ist Techware 5 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen entwickelt, um die Ausrüstung und das Personal zu schützen. Der Bediener wird durch einen Sicherheitszaun geschützt, der als Verriegelung dient, um einen Betrieb bei geöffnetem Zaun zu verhindern. Ein integrierter Lichtvorhang identifiziert alle Hindernisse oder Fremdkörper, die den Betrieb unterbrechen könnten. Innerhalb der Konstruktion ist auch ein Not-Aus-Knopf vorgesehen, der - bei Aktivierung - alle Bewegungsaktivitäten beendet und dem Bediener signalisiert, entsprechende Maßnahmen zu ergreifen. BROOKS Techware 5 bietet zuverlässige Datenhandhabungs- und Kommunikationsmöglichkeiten, so dass es einfach in eine Vielzahl von Systemen integriert werden kann. Es entspricht den SEMI-Standards E92 und E39 mit Echtzeit-Kommunikation und integrierter Fehlererkennung. Techware 5 verfügt auch über leistungsstarke Diagnosefunktionen und verwendet die neuesten Netzwerkschnittstellen für den Fernzugriff und die Diagnose. Dank seiner fortschrittlichen Bewegungssteuerung, zuverlässiger Kommunikation und hoher Genauigkeit ist BROOKS Techware 5 ein leistungsstarker und zuverlässiger Wafer-Handler, der in der Lage ist, ein effizientes und genaues Wafer-Handling für 300 mm-Wafer zu bieten. Es eignet sich hervorragend für die Anforderungen von Hochgeschwindigkeits-, wiederholbaren Umgebungen, und seine kompakte Bauweise macht es ideal für Fertigungsprozesse mit begrenztem Platz.
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