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BROOKS Techware II Ultra
ID: 9153586
Sputtering controller.
BROOKS Techware II Ultra ist ein leistungsstarkes Wafer-Handling-Gerät, das für photolithographiebasierte Prozesse und Fertigungsvorgänge konzipiert ist. Es ist eine ideale Lösung für die Halbleiterherstellung und andere präzisionsbasierte Prozesse. Techware II Ultra kommt mit einer hochpräzisen Bewegungssteuerung, die einen überlegenen Design-to-Manufacturing-Ansatz verwendet, um eine bessere Wafer-Handhabungsgenauigkeit und schnellere Wafer-Ladegeschwindigkeiten zu erreichen. Das Motion Control System bietet einen achtachsigen Positionierer mit 0,1 Mikrometer Auflösung und besser als 0,1 ° Antrieb. Damit eignet er sich für präzise Be- und Entladevorgänge. BROOKS Techware II Ultra kommt mit einer geschlossenen automatischen Fokuseinheit, die den optimalen Fokus des Wafers während des Be- und Entladens hält. Dies hilft, Fehlstellungen zu vermeiden und die Genauigkeit der Be- und Entladevorgänge zu verbessern. Techware II Ultra wird mit einem integrierten elektrostatischen Spannfutter (ESC) geliefert, um Kontaminationsrisiken zu reduzieren und die Klemmkraft des Waferteils zu verbessern. Es ist auch mit einem zweifarbigen Lastschließfach und separaten Spannfuttern mit fester Höhe ausgestattet, die eine flexible Waferunterstützung und erhöhte Genauigkeit bieten. BROOKS Techware II Ultra kommt auch mit einer integrierten Edge Grip Maschine. Dadurch können die Roboterarme Wafer sicher halten und bewegen, ohne ihre Kanten zu beschädigen. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die Wafer während der Bewegung genau ergriffen werden, wodurch eine mögliche Fehlhandlung vermieden wird. Techware II Ultra verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und verbesserte Sicherheitsfunktionen, die dazu beitragen, das Tool vor unbefugtem Zugriff zu schützen. Die Benutzeroberfläche bietet Optionen zur Konfiguration der Waferhalterparameter, zur Auswahl der Wafergröße, Anzahl der Wafer und mehr. Es verfügt auch über eine eingebaute Kalibrieranlage, die sicherstellt, dass der Waferhalter korrekt ausgerichtet ist und mit maximaler Genauigkeit arbeiten kann. Insgesamt bietet BROOKS Techware II Ultra eine Kombination aus fortschrittlicher Präzisionsbewegung, einem Auto-Fokus-Modell mit geschlossener Schleife, integrierten elektrostatischen Spannfuttern, Edge-Grip-Geräten und einer benutzerfreundlichen Schnittstelle, was es zu einer guten Wahl für die Halbleiterherstellung und andere präzise Wafer-Handhabungsanwendungen macht.
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