Gebraucht BROOKS VTR-5 #157592 zu verkaufen

BROOKS VTR-5 ist ein Wafer-Handler, der eine präzise, genaue und zuverlässige Materialpositionierung und -transport ermöglicht. Es verfügt über eine breite Palette von Fähigkeiten, die präzise Wafer Positionierung, Transport, Be-/Entladung Operationen, präzise Geschwindigkeit und Beschleunigung für präzise Wafer Transport, Wafer Inspektion und Blockierung, Kassette Be- und Entladen, präzise Materialtransport und Druckkontrolle und Zusatzausrüstung. VTR-5 ist eine vollautomatische Station-zu-Station Servoanlage, die präzise, präzise und zuverlässige Wiederholbarkeit für den Wafertransport bietet. Es hat eine robuste Konstruktion, einfache Wartung und Genauigkeit für Produktionsanwendungen. Das System umfasst einen Servoregler, Servoverstärker, Präzisionslinearlager, hochauflösenden Encoder, Impulsmotor und 5-Achsen-Präzisionsstufe. Es enthält auch eine erweiterte Steuerungssoftware für Geräte mit Echtzeitüberwachung und Steuerung mit automatischen Warnfunktionen bei Fehlern. BROOKS VTR-5 wurde entwickelt, um Wafer schnell und mit präzisen Geschwindigkeiten zwischen Öfen und Verarbeitungskammern zu transportieren und so gleichbleibende Qualität und Ergebnisse zu gewährleisten. VTR-5 verfügt auch über eine Scheibenblockiermaschine, die eine genaue Materialpositionierung und -transport ermöglicht. Dies geschieht durch genaues Anbringen von erhöhten Stiften in Kontakt mit der Oberfläche des Wafers, wodurch Wafer an genauen und präzisen Stellen angehalten, transportiert, be- und entladen werden können. BROOKS VTR-5 verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Kassettenladewerkzeug, das durch schnelles und genaues Be- und Entladen von Kassetten aus der Station-zu-Station-Anlage die gesamte Prozesszeit reduziert. Dieses Modell kann problemlos in jede andere Ausrüstung integriert werden. VTR-5 umfasst auch eine präzise Geschwindigkeits- und Beschleunigungsfunktion, die präzise Geschwindigkeitsänderungen für verschiedene Anwendungen ermöglicht und eine präzise und präzise Mikrohandhabung von Mover-Wafern ermöglicht. BROOKS VTR-5 enthält auch eine Zusatzausrüstungssteuerung, die eine präzise Steuerung der zugehörigen Geräte wie Wasser, Gas und Druckquellen ermöglicht. Das Gerät umfasst eine fortschrittliche Systemsteuerungssoftware, die Echtzeit-Überwachung und -Steuerung mit automatischen Warnfunktionen für Fehler bietet. Diese Einheit ist für den industriellen Einsatz konzipiert und ist mit verschiedenen Wafer- und Chipmaterialien kompatibel. VTR-5 ist ein industrieller Wafer-Handler, der eine präzise und genaue Materialpositionierung und -transport ermöglicht. Es zeichnet sich durch robuste Konstruktion und einfache Wartung in Kombination mit präziser Geschwindigkeit, Beschleunigung und präziser Materialtransport und Druckregelung aus. Mit präziser Geschwindigkeit und Beschleunigung kann BROOKS VTR-5 Wafer schnell zwischen Öfen, Bearbeitungskammern und anderen Geräten transportieren, was präzise und konsistente Ergebnisse ermöglicht. Die anspruchsvolle Kassettenlademaschine, das Wafer-Blockierwerkzeug und die Zusatzausrüstungssteuerung kombinieren eine präzise und zuverlässige Wafer-Transportkapazität.