Gebraucht BROOKS VTR-5 #169514 zu verkaufen

BROOKS VTR-5 ist eine Einzelwafer-Roboter-Vakuum-Transfer- und Handler-Ausrüstung, die für Halbleiterherstellungsprozesse bestimmt ist. Es ist für einen optimalen Waferdurchsatz ausgelegt und bietet verbesserte Sauberkeit, Flexibilität, Zuverlässigkeit und Rückverfolgbarkeit. Das System ist in der Lage, 100mm, 200mm, 300mm und 450mm Wafer zu verarbeiten und zu überwachen, ohne dass kundenspezifische Be- und Entladekomponenten erforderlich sind. VTR-5 verfügt über einen Vakuumübertragungskopf, der mit praktisch allen Arten von Wafern kompatibel ist, und einen sicheren und wiederholbaren Übertragungsprozess. Darüber hinaus bietet das 12-Zoll-LCD-Bedienfeld eine breite Palette von Betriebs-, Diagnose- und Wartungsinformationen. Das Gerät verfügt außerdem über Auto-Purge und Auto-Center, was eine bessere Übertragungsleistung und Prozesswiederholbarkeit ermöglicht. Die Maschine verfügt über einen Waferaufzug mit 4-stufigen, servogesteuerten, pneumatischen Wafergriffen und einer gasdichten Kammer, die für Produktionsumgebungen auf Klassifikationsniveau geeignet ist. Die magnetische partikelbasierte Design-Schnittstelle verhindert Wafer-Fehlhandlungen und sorgt für eine gute Handhabungsleistung. Der modulare Aufbau ermöglicht auch eine einfache Reparatur und Wartung mit schnellem Zugriff auf die internen Komponenten der Einheit. BROOKS VTR-5 bietet zudem eine hervorragende Kombination aus Durchsatz und Sauberkeit mit einer Zykluszeit von nur 4,6 Sekunden pro Wafer und verfügt über Echtzeit-RFID-Tracking-Funktionen, die eine Echtzeit-Überwachung aller aus dem Tool geladenen und entladenen Wafer ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die LPC-Getriebetechnologie Wafer-Tracking und Rückverfolgbarkeit aus den Waferpartien, was zu maximaler Produktionssicherheit führt. VTR-5 ist eine zuverlässige und kostengünstige Halbleiterausrüstung, die eine verbesserte Sauberkeit und Rückverfolgbarkeit bietet, mit einer wettbewerbsfähigen Zykluszeit mit hohem Durchsatz und Wiederholbarkeit. Sein einfaches und modulares Design, gepaart mit seiner intuitiven und grafischen Benutzeroberfläche, garantiert eine hochwertige Produktionslinie und eine hervorragende Handlingleistung.