Gebraucht COMET R2D #9397149 zu verkaufen

COMET R2D
Hersteller
COMET
Modell
R2D
ID: 9397149
Wafergröße: 6"
Wafer transfer system, 6" (3) Stations.
COMET R2D Wafer Handler ist eine automatisierte, voll ausgestattete, Einzelwafer-Verarbeitungsanlage, die für industrielle Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine ideale Lösung für Produktion, Sicherheit und Zuverlässigkeit. Das System ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen, da es einen zweiachsigen Roboterarm mit Bewegungssteuerung und einem Wafer-Handhabungswerkzeug verwendet. R2D kann bis zu 200mm Wafer handhaben und bietet eine komplette Palette von Optionen und Prozesswerkzeugen für die Waferbearbeitung, einschließlich Transport, Verifizierung, Ätzen, Reinigung und Maskierung. Der Wafer-Handler ist mit einem leistungsstarken Roboterarm ausgestattet, der eine präzise Waferbewegung ermöglicht, ideal für die Produktion mit hohem Durchsatz. Es bietet eine schnelle und genaue Positionierung von Wafern in einem Bereich von Off-Center-Koordinaten bis zu 50mm vom Wafer-Zentrum. Darüber hinaus verfügt der Arm über eine hochpräzise Sensoreinheit, die eine Freiformbewegung für genaue Erreichbarkeit bietet und eine hohe Genauigkeit für die Waferbearbeitung beibehält. COMET R2D enthält auch eine Motorsteuerungsoption, die präzise und wiederholbare Wafer-Bewegungsgeschwindigkeiten ermöglicht. In Bezug auf Wafer-Handling und Prozesswerkzeuge ist die Maschine mit mehreren Wafer-Bearbeitungsmodulen ausgestattet, einschließlich Nassätzen, Spin-Coater, Photoresist und Trockenätzen, was Vollwafer-Prozessschritte von Reinraum über Photolithographie bis hin zum Ätzen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine vollständig integrierte Sicherheitseinrichtung mit mehreren Alarmen und Notstoppfunktionen, die einen sicheren Betrieb des Geräts garantiert. Darüber hinaus ist das Modell für eine komfortable und zuverlässige Wartung konzipiert, mit eingebauten Modulen für einfachen Austausch und Kalibrierung. Insgesamt ist R2D Wafer Handler eine ideale Lösung für industrielle Anwendungen, die eine hochpräzise Halbleiterherstellung mit hohem Durchsatz erfordern. Das Gerät bietet eine zuverlässige, benutzerfreundliche und effiziente Lösung, die eine sichere und genaue Waferbearbeitung gewährleistet.
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