Gebraucht CSM Calotest #9115220 zu verkaufen

Hersteller
CSM
Modell
Calotest
ID: 9115220
Coating thickness measurement system 240V 50/60HZ CAT S AE 0000.
CSM Calotest Wafer Handler werden in der Halbleiterherstellung verwendet, um Halbleiterscheiben während der Produktion zu bewegen, auszurichten und zu steuern. Sie bestehen aus einem automatischen Wafer-Positionierer, der von einer Winkelsteuereinrichtung unterstützt wird, um eine präzise Ausrichtung und Manipulation von Wafern zu gewährleisten. Der Wafer-Handler erfüllt alle notwendigen Funktionen der Präsentation, Ausrichtung, Zentrierung, Orientierung, Strukturierung und Verarbeitung des Wafers. Der Handler ist mit einem Wafer Tray, Tray Sensor, Detektor und passenden Aktoren ausgestattet. Das Wafer-Tablett wurde entwickelt, um einen Standard-Silizium-Wafer mit einem Durchmesser von 200-300 mm zu montieren und zu transportieren, ohne die Oberfläche zu kratzen oder zu beschädigen. Das Tablett ist mit einem silikonbeschichteten Film beschichtet, um statische Elektrizität zu reduzieren und den Wafer vor elektrostatischer Entladung zu schützen. Ein angeschlossener Sensor erkennt dann das Vorhandensein eines Wafers auf dem Tablett und sendet ein Signal an die Winkelsteuerung. Die Winkelsteuerung regelt Geschwindigkeit, Kraft und Bewegung des Wafers präzise. Die Steuerung empfängt Eingangssignale vom Schalensensor und passt die Signale an die programmierte Bewegungssteuerung an und positioniert den Wafer genau. Auf diese Weise dreht der Regler den Wafer, ohne die Oberfläche zu beschädigen. Der Detektor ist eine Anordnung von Leuchtdioden und Photosensoren, die am Boden der Waferablage angebracht sind. Er misst den Abstand des Wafers von der Schale während der Positionierung und gibt ein Signal an die Winkelsteuermaschine zurück, so dass das Werkzeug die Geschwindigkeit und Kraft entsprechend einstellen kann. Die Wafer-Match-Aktoren befinden sich außerhalb der Wafer-Schale und sind dazu ausgelegt, den Wafer in ein vorgegebenes Muster zu drehen. Die Aktuatoren bewegen den Wafer in der x-, y- und z-Ebene, um mit dem gewünschten Verarbeitungsmuster zu korrelieren. Calotest Wafer Handler wird in Kombination mit anderen ultra-sauberen automatisierten Systemen wie optischen Inspektionssystemen und Mustermesssystemen verwendet, um höchste Genauigkeit und Produktionsausbeute zu gewährleisten. Seine präzise Bewegungssteuerung, kombiniert mit seinen vielseitigen Größenoptionen und der Kompatibilität mit einer Vielzahl von Wafermaterialien, machen es zu einer zuverlässigen, kostengünstigen Lösung für die Halbleiterherstellung.
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