Gebraucht DENSO RC7M-WLBA #9411594 zu verkaufen

DENSO RC7M-WLBA ist ein Hochleistungs-Wafer-Handler, der den Anforderungen moderner Halbleiterherstellungsanlagen gerecht wird. Dieser hochmoderne und zuverlässige Wafer-Handler ist für den Transport von Wafern mit 200mm, 300mm und 450mm Durchmesser mit einer maximalen Wafergröße von 28,5 mm und einer minimalen Wafergröße von 3 mm ausgelegt. RC7M-WLBA ist in der Lage, in einer Vielzahl von Prozessparametern wie Temperatur, Ausrichter und Vakuumniveau zu arbeiten, so dass eine vollständige Prozesskontrolle möglich ist. DENSO RC7M-WLBA ist mit einem modularen Konzept konzipiert, das Flexibilität bei der Installation und Rekonfiguration bietet. Seine Struktur besteht aus einer Basis, einem Rahmen und mehreren Werkzeugen, die eine größere Prozesssteuerung ermöglichen. Als Teil des modularen Konzepts besteht die Basis aus Lastports, die Kassetten oder Pods zum Be- und Entladen von Wafern aufnehmen. Der Rahmen enthält die Werkzeugmodule einschließlich des Ausrichters, der Kassette, der Vakuumsysteme und der Wafer-Handling-Komponenten, die den zu bearbeitenden Wafer-Größenbereich unterstützen. RC7M-WLBA verfügt zudem über eine unabhängige Stromversorgung und eine integrierte Robotersteuerung. Das Robotersteuerungssystem ist für den Betrieb, die Bewegung und die Überwachung des Handlers und seiner Subsysteme verantwortlich. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Robotersteuerung eine funktionsbasierte Programmierung und bietet eine schnelle Reaktionszeit, die den Durchsatz verbessert. Darüber hinaus verfügt DENSO RC7M-WLBA über eine SELF-Überwachungsmaschine, die Rollenoperationen, Kassettenaustausch und andere Werkzeugoperationen überwacht. Alle von diesem Asset gesammelten Informationen werden in einem Speicher gespeichert, der eine schnelle Datenübertragung und eine verbesserte Maschinenzuverlässigkeit ermöglicht. Im Rahmen der Standardkonfiguration umfasst RC7M-WLBA Näherungssensoren, die Kollisionen zwischen dem Handler und seiner Umgebung verhindern. DENSO RC7M-WLBA Wafer Handler ist für den Einsatz in den folgenden Anwendungen konzipiert: Epitaxie, Oxidation, chemische Dampfabscheidung, Sputtern, Lithographie, thermische Verarbeitung und Wafer-Handling. Darüber hinaus kann es in bestehende Prozesswerkzeuge wie Ionenimplantatoren, HB-LED-Abscheidungssysteme, Trockenätzanlagen, Messtechnik und mehr integriert werden. Dieser fortschrittliche Wafer-Handler wurde entwickelt, um Effizienz, Zuverlässigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Sein Design ermöglicht eine einfache Installation, schnelle Einrichtung und Wartung, erhöht die Betriebszeit der Maschine und reduziert Ausfallzeiten. Darüber hinaus ermöglicht sein modulares Konzept Upgrades, die dazu beitragen, seinen Wert im Laufe der Zeit zu halten. Abschließend ist RC7M-WLBA die perfekte Lösung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsanlagen.