Gebraucht ENTEGRIS KA198-80M #293590956 zu verkaufen

ENTEGRIS KA198-80M ist ein Wafer-Handler zur Strukturierung und Bildgebung in der Halbleiterherstellung. Es ist eine integrierte Roboterplattform, die für den Einsatz in Photolithographiesystemen konzipiert ist. Dieser Wafer-Handler bietet eine mehrachsige Konfiguration von bis zu 4 Achsen und einen schlittenartigen Arm und Manipulator zur sequentiellen Roboterbewegung von Halbleiterscheiben von Kassette zu Kassette. KA198-80M hat eine Wiederholbarkeit von + 80 μ m/Einzelachse, eine typische Stromversorgung von 80 Ampere und eine stationäre Geschwindigkeit von bis zu 3 m/s. Die verringerte Einstellzeit und das niedrige Profil ermöglichen schnellere Zykluszeiten und einen größeren Durchsatz. Es ist mit einem innovativen versiegelten Roboterarm ausgestattet, der die Exposition gegenüber korrosiver Umgebung verhindert und höchste Kontrolle, Präzision und Genauigkeit gewährleistet. Der Hebemechanismus des Armes ist für die gleichzeitige Übertragung von maximal acht 8-Zoll-Wafern ausgelegt. ENTEGRIS KA198-80M ist mit einem Kippdrehmechanismus gebaut und mit einem eigenen Motor für jede Achse konfiguriert. Der Motor unterstützt eine statische Belastung von bis zu 5 kg und eine dynamische Belastung von bis zu 6 kg. Der maximale Neigungswinkel für diesen Wafer-Handler beträgt ± 4 Grad, was eine gezielte Exposition gegenüber dem IC auf dem Wafer ermöglicht. KA198-80M Wafer-Handler verwendet die neuesten Heftalgorithmen für eine schnelle Wiederherstellung, wenn während des Betriebs gestoßen. Die erweiterten Steuerungsalgorithmen ermöglichen es dem Gerät, den genauen Standort des Wafers schnell zu identifizieren und neu zu erstellen, so dass der Betrieb schnell wieder aufgenommen werden kann. Das niedrige Profil des Armes beseitigt auch Behinderung und ermöglicht Spiel während der Navigation enge Kurven und Gänge. Dieser Wafer-Handler wurde entwickelt, um sich in eine breite Palette von Halbleiterherstellungssystemen und -anwendungen zu integrieren. ENTEGRIS KA198-80M kann für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Halbleiterherstellung, Prüfung und Charakterisierung. Das Gerät ist einfach zu programmieren, kompakt zu integrieren und zuverlässig zu bedienen. KA198-80M Wafer-Handler erweist sich als nützliches Werkzeug für Einrichtungen, die nach einem zuverlässigen High-End-Wafer-Handler suchen, um ihren Bedürfnissen gerecht zu werden.