Gebraucht ENTEGRIS Ultrapak 1500 #161074 zu verkaufen
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ENTEGRIS Ultrapak 1500 Wafer Handler ist eine halbautomatische Wafer Handling-Lösung zur Optimierung der Waferbearbeitung und Maximierung der Betriebszeit in Halbleiterherstellungsanwendungen. Ultrapak 1500 ist in der Lage, bis zu vier verschiedene Wafergrößen zu handhaben und ist für schnelles Waferbeladen, Entladen und Ausrichten ausgelegt. ENTEGRIS Ultrapak 1500 ist mit einem langlebigen Rahmen aus Aluminiumguss und pulverbeschichtetem Stahl konzipiert und bietet eine lange Lebensdauer. Die Maschine ist modular aufgebaut und ermöglicht eine einfache Anpassung und schnelle Rekonfiguration für verschiedene Wafergrößen. Für einen sicheren Wafer-Be-/Entladevorgang verwendet Ultrapak 1500 ein kundenspezifisches Vier-Punkte-Aufhängungssystem mit einer einstellbaren Kraftrückkopplungsfähigkeit, um einen korrekten Kontakt und Griff auf dem Wafer zu gewährleisten, ohne die Oberfläche zu beschädigen. ENTEGRIS Ultrapak 1500 verfügt über eine Zero-Touch-Ausrichtungsoption, die eine präzise Ausrichtung zwischen dem Wafer-Handler und der Kassette ermöglicht. Dies geschieht durch den Einsatz eines programmierbaren Scanners mit einer Wiederholgenauigkeit von +/- 4 Millimetern, der eine konsistente Ausrichtung des Wafer-Handlers und der Kassette ermöglicht und Ausfallzeiten aufgrund von Fehlstellungen minimiert. Ultrapak 1500 enthält auch eine automatisierte Wafer-Zentrierstation, die für die koaxiale Ausrichtung einstellbar ist. ENTEGRIS Ultrapak 1500 verfügt über einen langlebigen Vakuumaufnahmearm aus Edelstahl, der in der Lage ist, bis zu 20 Vollblatt-Wafer in einem Zyklus mit einer Drehzahl von bis zu 7200 U/min zu handhaben. Der Arm ist mit einem Kraftrückkopplungssystem ausgestattet, um den schonenden Umgang mit empfindlichen Wafern ohne die Gefahr von Beschädigungen zu gewährleisten. Der Vakuumaufnahmearm wird von einem integrierten Servomotor angetrieben, der eine schnelle und präzise Waferbehandlung bei minimalen Stillstandszeiten ermöglicht. Ultrapak 1500 wurde entwickelt, um einfach zu bedienen, mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche, die es Benutzern ermöglicht, die Operationen schnell zu programmieren und zu überwachen. ENTEGRIS Ultrapak 1500 kann in bestehende Automatisierungssysteme integriert werden und entspricht SEMI-Standards. Die Maschine verfügt auch über eingebaute Sicherheitsfunktionen, wie Türsensoren und Endschalter, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Zusammenfassend ist Ultrapak 1500 Wafer Handler eine halbautomatische Wafer Handling-Lösung, die für eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung in Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. ENTEGRIS Ultrapak 1500 ist für eine einfache Bedienung ausgelegt und kann bis zu vier verschiedene Wafergrößen mit einem langlebigen Edelstahl-Vakuumaufnahmearm handhaben. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Ausrichtungsoptionen, automatisierte Waferzentrierung, intuitive grafische Benutzeroberfläche und Sicherheitsfunktionen.
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