Gebraucht ENTEGRIS Ultrapak #55219 zu verkaufen

ENTEGRIS Ultrapak ist ein Wafer-Handler für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterproduktions- und Testanwendungen. Es bietet volle Kompatibilität mit allen gängigen Wafergrößen und unterstützt eine Vielzahl von Anwendungen für den Kassetten-zu-Kassetten- und Roboter-zu-Roboter-Transport. Ultrapak verfügt über einen einzigartigen modularen Aufbau, der angepasst und konfiguriert werden kann, um spezifische Prozess- und Produktanforderungen zu erfüllen. Die Wafer werden in eine Kassette geladen und in die ENTEGRIS Ultrapak Einheit gelegt, dann transportiert ein Roboterarm die Kassette zum nächsten Bearbeitungsschritt. Das redundante Design von Ultrapak bietet Vorteile in Bezug auf Zuverlässigkeit und Wartung und minimiert gleichzeitig das Risiko von Ausfällen und Verschmutzungen von Geräten. ENTEGRIS Ultrapak kann sowohl in neuen als auch in bestehenden Prozessanlagen eingesetzt und für eine Vielzahl von Automatisierungssystemen konfiguriert werden. Das eingebaute, multipositionale Vakuumsystem bietet präzisen, schnellen Wafertransport mit geringer Handhabungskraft und minimaler Vibration, was zu weniger Partikeln und Stempelschäden führt. Darüber hinaus kann Ultrapak mit einem Doppelkammer-Design, einschließlich eines Transporters und eines Suszeptors, konfiguriert werden, um Chargenverladung und Indexierung von einer Vielzahl von Wafermärkten zu ermöglichen. Sein Roboterarm ist in der Lage, einen Wafer in jeder Position im Handler mit hoher Genauigkeit zu positionieren und ermöglicht eine schnelle Positionierung mehrerer Wafer innerhalb eines Zyklus. ENTEGRIS Ultrapak ist mit modernsten Sicherheitsfunktionen gebaut, die die Sicherheit des Bedieners gewährleisten und Kontaminationen minimieren. Sein Luftfiltersystem ist so konzipiert, dass das Einbringen von Verunreinigungen und Partikeln in den Prozess verhindert wird und seine Schilde zur Wartung oder Reinigung leicht entfernt werden können. Darüber hinaus gewährleistet sein fortschrittliches Sensorsystem eine ordnungsgemäße Waferbelastung und -positionierung sowie Fehlererkennung und schnelle Reaktion auf eine Fehlstellung der Wafer. Ultrapak ist mit einer Reihe prozessspezifischer Komponenten konzipiert, darunter ein Transfer Load Lock, Wafer Loading Jig und ein Wafer Positioner. Das Transfer Load Lock sorgt für eine sichere Übertragung und minimiert das Risiko von Kontamination und Partikelbildung während des Transports. Die Wafer Loading Jig hilft, den Wafer präzise an Ort und Stelle zu positionieren und verfügt über eine einzigartige, einpulsige Ladefunktion, die die Partikelerzeugung reduziert. Schließlich bietet der Wafer Positioner eine hohe Genauigkeit Wafer Platzierung und hilft, einen einheitlichen Wafer Fußabdruck während des gesamten Prozesses zu gewährleisten.